二手 KOKUSAI DJ-853V #9205046 待售

KOKUSAI DJ-853V
ID: 9205046
晶圓大小: 6"
優質的: 1996
LPCVD Systems, 6" 1996 vintage.
KOKUSAI DJ-853V是一種高性能擴散爐,設計用於處理半導體、金屬有機化學氣相沈積(MOCVD)、氧化物鈍化和預擴散。它在半導體和電子應用中為高度集成電路的開發廣泛使用。KOKUSAI DJ 853V是利用空氣或氮氣過程氣氛以及真空鐘的全自動擴散爐。最高處理溫度為1200攝氏度,系統可加熱至75個隨機可編程點。它擁有最大速率為1,100 °C/min的單區控制器或最大速率為1,200 °C/min的雙區控制器。DJ-853V配有三分之二的鎢或銨的加熱元件,並有一個由藍寶石或石英制成的石英蓋。它還配備了用於溫度監測的光學高溫計。為確保操作過程中的安全,DJ 853V設計有真空鈴鐺和可在加熱和冷卻階段壓下的蓋子。此外,它還配備了位於前面板上的壓力發射器,以控制爐子的壓力。KOKUSAI DJ-853V有一系列輔助其運作的配件。它附帶了一個氣泡提供受控的氧氣流到腔室,以及一個旋轉閥門,可以調整精確的溫度控制和各種氣體線的範圍廣泛的化學品和氣體。此外,該系統還可以安裝石英和氧化鋁磁化器,以對工件進行均勻加熱。最後,可以使用探測站來監測爐子的過程.KOKUSAI DJ 853V還可以配備硬件和軟件包,允許用戶從遠程位置操作和控制。這些軟件包包括用於創建配方的軟件應用程序、可編程邏輯控制器等。DJ-853V是半導體和電子工業的優秀多用途擴散爐。其高效安全的操作使其成為高集成電路開發中制造商和設計師的熱門選擇。憑借其可靠的系統和強大的功能,確保了所有使用它加工的產品的一流質量。
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