二手 KOKUSAI DJ-853V #9206222 待售

KOKUSAI DJ-853V
ID: 9206222
晶圓大小: 6"
優質的: 1996
LPCVD Systems, 6" 1996 vintage.
KOKUSAI DJ-853V擴散爐是一種先進的工具,其設計目的是在進行各種半導體制造過程的同時提供精確的溫度控制。該爐利用垂直和水平加熱元件以及主動流量控制,在整個工作室內提供均勻分布的溫度。容器上堅固的真空密封確保了高質量的操作和潔凈室排放控制合規性。KOKUSAI DJ 853V擴散爐的標準溫度範圍為200 °C至1300 °C,特殊工藝的可選溫度更高。直觀的溫度聚焦系統允許跨多個點快速調整溫度,非常適合快速變化的合金溫度。主動流控制設計允許精確的溫度管理,對於各種擴散過程尤其重要。DJ-853V還具有內置的安培調節器,使用戶能夠控制精確控制的電流曲線的各種退火電流。通過最多四個石英管連接、最多三個退火區和兩個獨立的氣體控制閥,DJ 853V可以輕松處理多步退火過程。KOKUSAI DJ-853V配備了高級PID控制監視器,該監視器以0.1°C的高靈敏分辨率顯示當前溫度,同時跟蹤時間和當前值。它還具有高達500種配方的存儲容量,以及USB連接和可選的以太網端口,以便於數據傳輸。KOKUSAI DJ 853V是現代半導體制造設備的絕佳擴散爐,具有高質量的石英管,並具有壓力開關、空氣冷卻系統和超溫保護等多種安全特性。
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