二手 KOKUSAI / HIKE DD-1223VN #9276766 待售

KOKUSAI / HIKE DD-1223VN
ID: 9276766
晶圓大小: 12"
優質的: 2005
Furnace, 12" Process: PYRO 2005 vintage.
KOKUSAI/HIKE DD-1223VN是為生產生產和研究領域的功能化和純凈材料而設計的擴散爐及配件。利用擴散和熱加工技術,快速生產出均勻薄耐用的優質功能層。這個擴散爐由一個有微波等離子體和感應線圈供熱的腔室、一個快速擴散沈積的反應腔室和一個使高溫合金加工成為可能的控制系統組成。具有高壓微波等離子體和感應線圈的腔室獨特的蓋子設計,允許快速加熱,精確的溫度控制,以及均勻的氣體和材料分散。反應室配有一個接入口,提供真空能力,以確保消除氣囊和氣體擴散。反作用室也可以封閉,允許高溫熔爐,或者打開一個大孔口,允許廣泛的擴散過程。高壓也可應用於反應室進行高溫分批處理擴散。控制系統由可編程邏輯控制器(PLC)和工業操作員控制臺(IOC)組成。PLC提供對過程參數的全面控制,包括洗衣機控制、等離子體功率和壓力控制。IOC提供了幾種流程配方,允許使用直觀的圖形用戶界面設置快速流程序列。這種擴散爐用途廣泛,使用方便.它非常適合在一系列材料上快速處理功能層。其強大的設計和深思熟慮的控制系統為用戶提供了在基板表面實現均勻氣體或材料沈積的能力。HIKE DD-1223VN擴散爐及配件是高精度、均勻性材料陣列上優質功能層生產的絕佳選擇。它可靠、高效、經濟高效。
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