二手 KOKUSAI / HIKE DD-803V-8C #293643516 待售
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KOKUSAI/HIKE DD-803V-8C是一種強大、可靠、高效的擴散爐及配套配件。本產品利用高溫氮化鈦(TiN)加熱元件和多區控制技術,在整個腔室內提供精確的溫度均勻性,使溫度得到精確控制。HIKE DD-803V-8C能夠實現高達1700°C的溫度,實現高容量摻雜、退火和各種其他熱處理。腔室中的TiN元素具有最佳的加熱均勻性,具有特殊的合金特性,使腔室壁有更高質量的熱流。這樣可以實現正確的反向擴散,從而實現熱量的均勻分布。KOKUSAI DD-803V-8C還采用一種特殊的低壓/高流(LP/HF)技術,以確保準確的植入深度和均勻的薄膜質量,提高產品質量並降低工藝成本。DD-803V-8C還配備了智能隔膜壓力控制裝置,可用於提供操作和安全閥或純隔離閥,從而在低壓操作方面實現更高水平的控制。隔膜壓力控制還具有排氣閥,因此,如果在任何時候檢測到問題,則可以完全關閉爐子,並通過自動關閉排氣閥來停止該過程,從而避免任何危險情況。除了先進的加熱技術和智能壓力控制外,KOKUSAI/HIKE DD-803V-8C還采用了先進的自動填充技術,可輕松設置用於高水平摻雜、維護和薄膜質量檢測較差,確保每次過程運行完美。最後,HIKE DD-803V-8C采用模塊化、節省空間的設計,並配有一系列配件,包括重力托盤烤箱、射束工具發射器、雙溫碳化矽crucible、氣櫃、質量流量控制器等。它結合了KOKUSAI DD-803V-8C的許多功能和組件,是任何在擴散過程中需要高精度、可靠性和性能的應用程序的理想選擇。
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