二手 KOKUSAI / HIKE DD-803V #293643501 待售

KOKUSAI/HIKE DD-803V擴散爐及配件是一種高科技爐，經過設計，提供精確的溫度控制和先進的特點。它設計用於半導體、MEMS和其他相關工藝中使用的材料的純化和沈積。該爐非常適合PECVD和ALD工藝的應用以及摻雜劑的擴散。HIKE DD-803V有三個不同的精確溫度控制區，包括溫度範圍、氣體流量和每個區域的流量方向控制。這允許用戶模擬原位條件，而無需單獨的高溫和低溫過程。它還帶有一個單獨的冷卻區,允許過程後快速冷卻。該爐具有高達2000 °C的強大加熱元件，允許在同一運行中使用具有特定成分的超薄層和層。它還附帶了一個全流量的氣體過程，通過爐底循環進入加工室，從而實現了均勻的溫度控制。KOKUSAI DD-803V還配備了數字可編程邏輯控制器（PLC）和RS485通信，使用戶可以輕松地對不同的進程進行編程，並對系統進行調整。它具有自動診斷功能,用戶無需打開爐子即可從計算機或移動設備檢查系統狀態。除了高級功能外，DD-803V還包括各種安全功能，以便在過程中完全安全。它帶有過熱保護和警報系統,用於在溫度超過預設範圍時向用戶發出警報。它還帶有緊急停止控制、緊急關閉和自動安全閥。KOKUSAI/HIKE DD-803V擴散爐及配件為用戶提供可靠、精確和安全的工藝環境。利用它的可編程邏輯控制器，先進的安全特性和溫度範圍，用戶可以保證每一次的質量結果。