二手 KOKUSAI / HIKE Vertex DD-803V #293592871 待售

KOKUSAI/HIKE Vertex DD-803V是一種工業級擴散爐及相關配件。該DD-803V專門設計用於半導體工業，用於器件制造過程中外延層的形成和晶片的熱氧化。它非常適合快速熱退火和快速冷卻。該DD-803V設計用於工藝的可重復性和可靠性,最高工作溫度為1,400 °C,快速冷卻速度為-5 °C至+150 °C/秒。集成擴散加熱元件采用氮化硼（BN）水泥陶瓷護套與鎢熱元件。這種組合提供了極佳的熱均勻性、快速的加熱和冷卻速率，以及改進的晶圓工藝均勻性。該爐采用不銹鋼材料建造，並配有絕緣設備以提供最高溫度穩定性。真空室由316/304級不銹鋼構成，帶有可選的熱解氮化硼（PBN）襯裏，用於減少顆粒物汙染。該DD-803V配備了過程控制計算機和人機界面（HMI）來管理和監控過程。這種最先進的系統具有室內溫度和壓力的監測功能，以及臺站工藝單元的數據。HMI包括一系列防護性聯鎖裝置，以防止操作失誤、操作狀況異常和高溫。該DD-803V還包括排氣機、手柄載荷箱、工藝載荷盒、石英船和預充裕工藝設備等多種輔助物品。整個工具是為易於使用和維護而設計的。總體而言,HIKE Vertex DD-803V資產可以實現設備制造的準確和可重復的過程。該DD-803V具有可互換的模型體系結構和先進的工藝控制，非常適合半導體器件的先進制造。