二手 KOKUSAI Quixace II Anneal #293822421 待售

KOKUSAI Quixace II Anneal是一種用於生產半導體器件的擴散爐及配件設備。它是一個創新的熱處理系統，旨在滿足最高的工藝性能要求。該裝置利用先進技術，即使在最具挑戰性的過程中也能提供出色的退火效果。該機設有真空沈澱室和退火室.真空沈積室的真空水平可達5 x 10-7 torr，用於金屬化層的沈積。該工具的退火室用於金屬化層和器件結構的再結晶。它配有紅外燈，能夠在受控大氣中高溫退火。Quixace II Anneal專為最大限度地減少鋁和鋁鋰系統中的熱擴散而設計。它具有帶反饋回路的控制資產,能夠隨著工藝時間的推移進行精確的溫度剖面控制.該模型還允許回收活性氣體和惰性氣體，這有助於減少廢物。退火室還配備了計算機化的工藝控制設備，使操作員能夠監控工藝參數，並將退火溫度保持在微調、可重復的範圍內。監測儀器適當地分配和平衡熱流和氣流，實現準確、可重復的熱過程，並具有一致的工藝結果和優異的產品可靠性。憑借其創新技術，KOKUSAI Quixace II退火系統是半導體器件生產中一個強大的工具。它使生產者能夠在高溫下快速退火金屬化層和裝置結構，並得到一致的工藝結果。單位還幫助生產者減少能源消耗，消除環境危害，減少浪費。它是任何半導體器件生產環境中理想的退火機選擇。