二手 KOKUSAI Quixace II CURE #9351283 待售

KOKUSAI Quixace II CURE是一種最先進的擴散爐和附件套件，非常適合在半導體器件制造和納米技術研發中的應用。為方便工件的裝卸，設計用於批量板裝填和編制索引。Quixace II CURE具有多種高性能特性,能夠在整個腔室實現極其精確的溫度均勻性,從而實現熱氧化和二氧化矽沈積等最佳的精密處理。KOKUSAI Quixace II CURE設計了模塊化的工作室，可以接受多種尺寸的盒式磁帶，以提高生產吞吐量。內室由模塊化石墨加熱器構成，以確保室內的加熱均勻。溫帶通過數字讀出進行監控,允許自動操作和連接控制器的復雜設置控制。該設備還配備了車載排氣裝置，既可管理後壓，又可管理工藝大氣積聚。此外,還集成了全面的安全功能,包括壓力監控、溫度過高保護和警報聯鎖,以便快速關閉系統。Quixace II CURE采用單面Ashing Chamber作為附件選件，配有矽鈦塗層石英板，便於清洗和清除殘留物。Ashing Chamber是加壓的，以保護腔室和工件不受Ashing過程的影響，並設計成最大限度的均勻性和防止扭曲。它是一個高效的氣體安普爾加載單元，其組件設計為盡量減少接觸點和減少手動移動的子系統組件。KOKUSAI Quixace II CURE是需要精密加工和均勻加熱的理想選擇。這對於為納米技術研發以及半導體器件制造創造復雜的結構非常有益。它是一種極其精確的機器，其溫度均勻性和安全特性使其成為任何需要精確熱處理的應用的最佳選擇。