二手 KOKUSAI Quixace II Doped Poly #9172063 待售
看起來這件物品已經賣了。檢查下面的類似產品或與我們聯系,我們經驗豐富的團隊將為您找到它。
單擊可縮放
已售出
ID: 9172063
晶圓大小: 12"
優質的: 2014
Vertical LPCVD furnaces, 12"
Software version: CX5000 (OU Ver.1.50.01)
Loader configuration:
(5) Loaders
System configuration:
Furnace unit:
(1) Cartridge heater
(5) T/C for heater control
(1) T/C for sub heater control
(5) T/Cs for over temperature protection
(1) 5-P T/C for cascade control
(1) 1-P T/C for profile control
(1) Thyristor unit for control
Clean unit:
(4) Clean module units
Controller:
Main controller (OU)
Main operation unit
Sub operation unit
Process module controller
(2) DDC Temperature controllers
(2) Gate drive units
MFC / Pressure unit
FOUP Loader controller unit
Wafer handling controller unit
Valve / Interlock control unit
Switching unit
Signal tower: Front
(2) Gas flow pattern panels
EDA Controller
EDA Operation unit
Drive mechanisms:
I/O Shutter
AGV / PGV / OHT Stage
FOUP Loader
Rotation FOUP storage
FOUP Opener
(2) Wafer detections
Wafer transfer
Variable wafer pitch converter
Boat elevator
Boat changer
Furnace port shutter
Boat rotation
Wafer transfer crash detector
Gas system:
Gas unit (IGS)
Exhaust system:
Dry pump
Mechanical booster pump
Diaphragm sensor: 1000 Torr
Diaphragm sensor: 2 Torr
Main valve
Exhaust piping
Exhaust dilution line
Reactor tube press leak line
Back ground line
Jacket heater for exhaust pipe
Seal cap heater
Inlet flange heater
Inlet port heater
Safety:
Light curtain system
Other:
(2) OHT I / F Unit
(1) Gateway-HSMS
(2) RF ID Readers
(2) Antennas
(2) Cantees
(2) Chemical filters
N2 Purge load lock system
O2 Monitor / Detector
FOUP Opener N2 purge system
Loading area MFC
Loading area N2 purge line
FOUP Opener N2 purge line
System power rating: 480 AC, 3 phase
Currently installed
2014 vintag
KOKUSAI Quixace II Doped Poly是一款高科技擴散爐及配件設備，設計用於生產一致、可靠的最新半導體器件技術。該系統包括一個400毫米多區管爐、基板加熱器、燃氣箱準備站、真空處理氨泄漏檢測器，以及多個帶有輸送線路的燃氣箱。該爐采用耐熱耐腐蝕不銹鋼結構，機械結構簡單高效，是追求經濟、質量、效率的客戶的理想選擇。多區管爐具有8區熱控制單元，具有獨立的精確溫度控制、均勻的溫度分布和精確的熱循環過程控制。爐管采用雙層石英塗層，熱效率極高。管端裝有專用噴嘴，防止翹曲和損壞易碎部件。該管還配有石英窗，可直接查看管內，內置過濾器，防止灰塵和其他顆粒汙染。基板加熱器設計用於將Quixace II摻雜聚合物加熱至2000 °C。設備尺寸小巧,安裝時間最少。它帶有兩個獨立控制的熱級和一個高性能風扇，用於均勻、一致的空氣在基板上流動，以實現均勻加熱。煤氣箱準備站的建造是為了滿足最嚴格的半導體制造環境的需要。它配備了一個儲氮瓶，兩條獨立的氣線，一個方便的CGA連接端口，以及一個簡單的控制接口。氮氣瓶不僅可用於維持基材制造過程所需的氮氣流量，還可在發生意外電力中斷時作為故障安全的備用供應。真空處理氨泄漏檢測器是一種高效可靠的電流表機器，用於檢測有害氨蒸氣。通過最多三個獨立的通道以及內置的控制和充氣工具,此探測器可讓您在高達10 ppm的可調範圍內輕松檢測和報警潛在的氨釋放。KOKUSAI Quixace II Doped Poly是滿足先進半導體生產需求的最佳解決方案。憑借其最先進的功能和強大的設計,此資產提供了一個可靠的平臺,可確保高效的過程吞吐量和制造產品的質量。
還沒有評論