二手 KOKUSAI Quixace II Poly #293666958 待售

KOKUSAI Quixace II Poly是為高精度半導體器件制造而設計的高性能兩級擴散爐。它是生產用於消費電子、汽車和計算應用的現代先進CMOS和3D IC設備的理想解決方案。Quixace II Poly設備能夠提供1150°C的最高溫度，有助於其提供快速熱化、熱退火和激光金屬化處理的非凡能力。爐子配有先進的加熱系統，由兩對電加熱元件組成，能夠在整個爐膛內產生非常均勻的溫度，並消除熱點和冷點。加熱元件由集成的石英quenchlined熱屏蔽層保護，設計成以1.5°C/min的速率均勻加熱腔室。KOKUSAI Quixace II Poly由不銹鋼打造而成，以提高耐用性和耐腐蝕性，並有雙級設計。該燃燒室具有幾個獨特的特點，如煙囪、高性能穿孔墻和一個綜合大氣屏障，禁止爐膛大氣與燃燒室內容物直接接觸。煙囪被設計成產生一個輕輕向下的壓力，以提高爐膛內的熱和真空性能。穿孔壁的設計旨在確保整個腔室的溫度均勻性,並將溫度梯度降至0.4 °C/min。這些特點，加上爐子堅固的結構，保證了各類應用的最佳性能。Quixace II Poly提供多種擴散選項，包括低溫摻雜和高溫氧化。它配備了一個集成的3D盒式到盒式晶圓傳輸單元，用於改進裝卸操作。該機還包括一個觸摸屏面板顯示屏，並在每個周期提供對所有流程和參數的完整監控。此外,該設備還可以接受射頻系統。這使得在同一個爐子內可以同時進行多次擴散作業，從而大大提高了工藝自動化和產量提高。KOKUSAI Quixace II Poly是一款功能強大且用途廣泛的擴散工具,在廣泛的擴散過程中提供可靠的性能。它具有出色的構建質量和可靠的可靠性,是中高批量生產環境的理想選擇。