二手 KOKUSAI Quixace II Poly #293758334 待售

KOKUSAI Quixace II Poly是為當今半導體工業設計的擴散爐及配件。它旨在制造高性能集成電路和其他設備,其周期比其他系統快得多。Quixace II Poly是一種批處理爐，利用爐氣流均勻擴散源或基材，以所需的模式形成所需的結構或裝置。KOKUSAI Quixace II Poly設計有兩種獨立的操作模式：單次運行和多次運行。在單次運行模式下，所有的過程氣體、開口和加熱元件都在單個過程運行中使用。多運行模式允許在單個擴散爐上運行多個過程。在每個進程運行期間,用戶可以選擇通量速率、斜坡速率和其他參數來優化性能。Quixace II Poly包括一個集成的熱控設備，可以自動監測和控制爐溫，以確保準確的沈積材料沈積和均勻的擴散。其精確的溫度控制系統使用高級PID、PID_TI和/或Fuzzy Logics快速將溫度調整到所需的設置。KOKUSAI Quixace II Poly提供精確的壓力、溫度和流量控制,用於精確的制造過程。其自動監控單元最大化均勻性，提供反饋以提供實時反饋信息，並將壓力、溫度和通量速率控制到精確的設定值。節能功能可提供精確控制,以提高效率和降低功耗。Quixace II Poly包括改進的裝載機，以提高效率和減少處理時間。這包括一個裝載站、卸載站、晶圓處理工具和多個裝卸旋轉木馬系統。改進的裝載資產提供了更高的可重復性、減少的磨損、更好的產量和更高效的處理時間。此外，KOKUSAI Quixace II Poly設計方便維護，使用壽命長。它采用易於訪問的前面板、可移動的頂部面板、可拆卸的烤箱和晶圓傳輸模型來實現更快的維修,以及用於降低維護和服務成本的模塊化加熱設備。總體而言，Quixace II Poly是半導體行業高效可靠的擴散爐及配件。它提供精確的溫度、壓力和流量控制，改進的裝載系統，以減少處理時間，並易於維護壽命長。它設計用於制造高性能集成電路和其他設備,結果一致。