二手 KOKUSAI Quixace II #9027427 待售
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ID: 9027427
晶圓大小: 12"
Vertical furnace, 12"
Single tube
Product load size: 125
Rapid Heating / Cooling (RHC)
Boat rotation
SEMI S2-0200E compliance
Main and sub (rear) operation controllers
Main controller: CX5000
SEMI EDA capability
Dual boat 125 WLS
Integrated Gas System (IGS) type: Fujikin 1.125"
RHC1 upgrade
Quartzware (1st set)
Rear operation panel
(2) Hard gas pattern panels
HPM (toxic gas) interlock
POD ID reader (AdvanTag GATEWAY HSMS)
OHT capability
Exhaust APC
Boat rotation type: N2 purged rotation
Self gas cleaning
EEMS CX-9800 server capacity and license
Options:
Canister (BK1200) for TiCl4
Bubbler (VG600W).
KOKUSAI Quixace II是一種高科技擴散爐及其附件，設計用於對爐溫參數進行精確控制。這種重型生產設備適用於廣泛的工業過程，包括氧化物、氮化物和碳基板擴散過程。堅固的結構由堅固的鋼架組成，工作溫度範圍最大可達1200 °C （2192 °F）。先進的PID溫度控制器采用自調節調節系統，保證了熱源的精確運動和溫度的維護。KOKUSAI QUIXACE-II還提供與時間步長控制和實時溫度監控一致的溫度一致性,從而提高產品產量和精度。結合可選的石英計數器，爐子可以在加熱或冷卻模式下運行，從而實現更快的熱循環。該爐采用電源供電，並配有緊急停止功能，以確保用戶安全。機組設有兩級磁性安全開關機構、壓力控制壓力開關、保持較低溫度的冷卻風扇以及安全均質熱處理的防火門。為了方便起見,這個復雜的生產單元具有多種自動化功能.較大的內部容量提高了生產率,符合人體工程學的工作面使其易於管理擴散過程。Quixace II支持各種用於精確控制溫度的材料，並具有具有高安全標準的自監控機器。先進的壓力控制工具可以幫助節約能源，同時也降低成本。該資產是為最大安全和最高效率而設計的，是工業級擴散爐的理想選擇。
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