二手 KOKUSAI Quixace II #9382771 待售
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已售出
ID: 9382771
晶圓大小: 12"
優質的: 2014
Vertical LPCVD furnace, 12"
Model name: DJ-1236-DF
Process: ALD SiO2
(2) Robotic FOUP loading stations
Precursors / Reagents / Catalyst: Pyridine, HCD, Water
Purge gas: Nitrogen
Cleaning gas: Nitrogen Tri-fluoride
DC Power supply: 24 VDC, ±15 VDC
(7) Boxes
Power box
Gas box
Source/Bubbler box
Bonnet
Heater
Refill stations
Tweezers
EDA Box and cover
Front end exhaust damper cover
Bridge includes SSR
Power cables included
Boat plates and screws
Heater upper doors
Water dead man panel
Manual
L/A Exhaust and elbow
Handy terminal
(5) Foreline cages
Gas box elbow
Foreline clamp box
Cable duct [L/A crossover]
Loose gas line and flex lines
RHC Exhaust duct and panels
BG Lines
RHC Metal flex duct
RHC Metal duct cover
Connecting duct
Tube flange
Exhaust pipe
Exhaust union
Injector heaters
RHC Damper packing
RHC Damper block
RHC Adiabatic blocks
Injector stand offs
TC Stand off
Flange clamp insulators
Heater insulators
(2) Fore line clamps
(2) Teflon cushions
Tweezers
Fore line clamp bolt
Teflon tube pins
Joint plate assembly
Axis fixing jig
Front body support jig
Utility support jig
Buffer rack support jig
Power sub-systems:
Vacuum gauges
Sensors
Compressed air valves
PLC I/O (Analog and digital)
Device net
Ethernet and MFC’s
Does not include:
Pump
Scrubber
Capacitance manometer
Precursor bottles or connecting lines
Missing parts:
QUARTZ Boat
Reactor
Adiabatic plate
Mounting nuts and bolts
Power supply:
480 VAC, 60 Hz, 300 A, 3 Phase
120 VAC, 60 Hz, 30 FA, Single phase
2014 vintage.
KOKUSAI Quixace II是一種創新的、高性能的擴散爐和設備，是作為專業級材料加工的一種經濟高效可靠的解決方案而開發的。這種高質量的火爐采用強大高效的電動機，可確保對各種材料進行快速高效的熱處理。不銹鋼結構和陶瓷絕緣系統在保持溫度精度的同時最大限度地減少了熱量損失，使得基材的加熱均勻。該爐配有數字PLC和觸摸友好型HMI，允許用戶友好的操作和精確的溫度控制。直觀而強大的控制單元允許針對不同材料進行自定義溫度編程,同時還可以快速調整和準確監控設置。此外，該爐還配備了實時故障保護機，在檢測到異常溫度或條件時提醒操作員。隨附的冷卻工具也是高效的，采用內置的低溫和高溫水平，旨在保護加工材料不因溫度過高而損壞。專門設計的露天結構也大幅降低了爐內部件與露點相關的腐蝕。此外,KOKUSAI QUIXACE-II還提供各種配件,可輕松連接和拆卸,從而進一步定制資產。該室采用透明觀察窗，石英玻璃模型可用於最高溫度應用。各種絕緣配置可用於適應不同的操作,包括低熱質量、高熱質量和高氧化鋁纖維選項。其他附件，如四點探頭線束、水位感應、冷水凈化裝置也有。總之，Quixace II是尋求高性能、可靠、經濟的擴散爐溶液的專業人士的理想選擇。其高效的電源、直觀的控制模式、卓越的冷卻能力和一系列的配件，使其成為尋求最大效率和可靠性的加工材料的理想選擇。
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