二手 KOKUSAI Quixace II #9382773 待售
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ID: 9382773
晶圓大小: 12"
優質的: 2014
Vertical LPCVD Furnace, 12"
Model: DJ-1206VN-DF
Process: Si3N4 / Multi
(2) FOUP Robotic loading stations
Precursors / Reagents / Catalyst: DCS, Ammonia, Water
Purge gas: Nitrogen
Cleaning gas: Nitrogen tri-fluoride
DC Power supply: 24 VDC, ±15 VDC
(6) Boxes
Gas
Power
Bonnet
Heater
Power sub-systems:
Vacuum gauges
Sensors
Compressed air valves
PLC I/O (Analog and digital)
Device net
Ethernet and MFC’s
Does not include:
QUARTZ Boat
Reactor
Adiabatic plate
Pump
scrubber
Associated components: Mounting nuts and bolts
Power supply:
480 VAC, 3 Phase, 60 Hz, 250 A
120 VAC, Single Phase, 60 Hz, 60 A
2014 vintage.
KOKUSAI Quixace II是一種擴散爐和配件，非常適合在一致的基礎上生產優質部件。KOKUSAI QUIXACE-II旨在提供最大程度的工藝控制、可靠性和與各種材料的兼容性。Quixace II配備高效的散熱系統，確保加熱和冷卻一致。利用高精度石英熱電偶監測和控制加工溫度，有助於保證工藝的均勻性。專門的控制系統確保記錄和維護精確的溫度分布,使其成為高性能應用程序和大批量生產要求的理想選擇。QUIXACE-II擴散爐還擁有緊湊的占地面積，便於運輸和安裝。它能夠在各種環境條件和各種潛在危險氣體中運行。該爐還配備了集成氣體控制系統，監測和調節擴散過程中氣體流動的流量和組成。這樣可以確保精確的擴散速率和精確的成分控制,從而提高生產率。此外，KOKUSAI Quixace II還配備了多種配件，如燃氣箱和氣體采樣裝置。最後，KOKUSAI QUIXACE-II包含了一套全面的安全功能，如三重鎖盤櫃和緊急停止按鈕。這些特性確保了安全和有效的擴散過程，並防止有害氣體和顆粒汙染物釋放到環境中。總體而言，Quixace II是一種多功能的擴散爐和附件，提供卓越的性能和可靠性。對於那些希望利用統一、高精度擴散過程和高批量生產要求的人來說,它是一個理想的解決方案。
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