二手 KOKUSAI Quixace II #9384017 待售

KOKUSAI Quixace II
ID: 9384017
Vertical furnace Process: ALD TiN.
KOKUSAI Quixace II是為生產矽片而設計的擴散爐及配件設備。它是一種功能強大、用途廣泛的機器,為從氣源沈積薄膜和電絕緣提供了一種有效的方法。適用於各類工業應用,包括半導體制造、先進材料制造和研發。Kokusais KOKUSAI QUIXACE-II配備了一個用於外殼的鐘罩、錐度、管子和可更換的密封。鐘形罐具有較大的觀察窗口,錐形管經過優化,可均勻分布溫度。管子有兩個溫帶,密封提供正壓,確保氣體密封可靠。在鐘罩內部,Quixace系統包括一個兩區反應室和一個沈積區,由一個單一的圓形燃燒霧化器連接。這種霧化器經過電加熱,溫度可獨立調節。反應室設有石英船,高精度溫度控制,反應溫度變化快。魁廈機組還設有可調節氣體噴射器和燃氣表。噴射器可實現各種過程的精確氣體輸送。燃氣表允許用戶監控成分、流量、壓力和溫度等參數。這些參數可根據需要針對不同的流程進行調整。該機還配備了用於冷卻的浸入式線圈、氣體通風口、氣體冷凝工具、排氣處理資產和安全模型。浸入式線圈有助於快速冷卻設備,氣體通風口用於排放任何有害氣體。冷凝系統旨在降低設備運行過程中的泄漏風險。排氣處理單元清除廢氣中的任何殘留汙染,而安全機器則意在確保操作過程中人員和設備的安全。Quixace II以其用戶友好的觸摸屏界面易於操作。該工具還設計用於遠程控制和監控。設置參數後,資產將自動啟動進程。它可以在有或沒有惰性氣體的情況下操作,每個工藝的運行時間都是可調的。總體而言,QUIXACE-II是一種高效可靠的矽片生產機器。它適用於各種應用,能夠處理極端溫度和危險氣體。該模型使用方便,提供精確的溫度控制、氣體註入和監控功能,非常適合任何工業生產或研發需要。
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