二手 KOKUSAI Quixace Ultimate ALD SiN #293641561 待售

KOKUSAI Quixace Ultimate ALD SiN
ID: 293641561
Vertical diffusion furnace.
KOKUSAI Quixace Ultimate ALD SiN是為廣泛的工業和科學應用而設計的綜合性擴散爐及配件包。擴散爐可用於薄膜沈積、氧化和氮化過程,也可用於粘結和其他特種工藝。該爐由露天設計和高溫氧化鋁絕緣材料組成。絕緣使熱量損失最小化,使爐子能夠保持精確的溫度,在非大氣中最高溫度為1300 °C (2372 °F),在保護性大氣中最高溫度為1820 °C (3308°F)。其精度在1.0°C ±以內。該爐具有高效、自動化的控制器和直觀的液晶屏操作接口,可實現精確的溫度控制。Ultimate ALD SiN的一個關鍵組成部分是大氣輸送系統。該系統包括一個大氣發生器和數字質量流量控制器,允許精確的流速和完成過程所需的氣體的精確組成,如氮化和氧化。真空源還包括真空泵,使薄膜沈積和粘結等過程具有性能。該爐還具有高性能的加熱元件,由鎳鉻制成,並包裹在氧化鋁板,允許精確的溫度控制和均勻加熱基板。而且,爐包包括先進的安全功能,配有水晶屏、緊急停止按鈕和過流保護,確保操作員在使用時安全安心。Quixace Ultimate ALD SiN擴散爐及配件封裝是一種針對各種工業、科學和制造應用的多合一解決方案。其堅固的設計和高性能組件確保了精確的溫度控制、精確的大氣控制以及對各種沈積過程的完整過程控制,使這種產品成為任何工業或科學環境中必不可少的工具。
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