二手 KOKUSAI Quixace Ultimate #9121959 待售

KOKUSAI Quixace Ultimate是一款先進的擴散爐設備和配件，用於先進的半導體加工。該系統配備了高級熱均勻性控制和加熱元件，為生產晶片提供了最寬範圍的溫度設置。先進的工藝控制為摻雜、未摻雜或難以加工矽材料提供了可靠的晶圓均勻性。該單元具有優越的溫度均勻性和加熱元件，用於處理單晶、多晶、應變矽等各類材料。該機具有兩個爐室：一個用於預厭氧化過程的大爐室和一個用於擴散植入物的多區爐室，溫度設置範圍很廣，最高可達1100 °C。爐具提供先進的工藝性能，包括高通量和通量均勻性。該資產采用API氣體控制模型進行密封，以實現高氣流通過率，從而實現超短熱循環。該設備還提供先進的溫度反饋控制、精確的空間均勻性和工藝優化。該系統的另一個優點是在擴散過程中由於矽加熱元件的緊密耐受性和沒有隔熱材料而產生的低熱應力。使用先進的專有工藝軟件對爐單元進行監控，為生產跟蹤和質量控制提供實時流程監控。該軟件還可用於工藝優化,以獲得更高的產量和更好的工藝性能。Quixace Ultimate機器是半導體加工的理想選擇，特別是對於先進的擴散爐加工。它旨在為許多類型的材料提供卓越的溫度控制和增強的均勻性以及廣泛的溫度設置。KOKUSAI Quixace Ultimate工具具有先進的工藝控制、寬廣的溫度範圍和高通量,是半導體生產的理想選擇。