二手 KOKUSAI Quixace #293600391 待售

KOKUSAI Quixace是一種擴散爐及配件產品，用於研發、教育實驗室和商業生產。它是一種晶圓級真空退火裝置，適用於廣泛的擴散過程，包括：氧化、氮化、熱退火和幹燥氧化。擴散爐由一個獨特的退火室組成，能夠維持高達1500 °C的溫度。最多可使用3個腔室同時處理3個晶片。Quixace的石墨纖維增強塑料櫃提供了一種高度可靠的絕緣材料，以確保有效散熱。該爐采用78%鋁、19%銅和3%鋁箔制成的擴散反射器，確保熱量和氧化過程均勻分布。反射器還屏蔽設備免受過程中產生的高溫。確保最佳結果的其他特征包括氣隙隔熱板,可確保樣品表面的溫度均勻性± 3 C或更低。手動熱控制和計時器都包含在設備中以監視過程。KOKUSAI Quixace還擁有有助於保持退火過程穩定的真空設備。它是一種多級旋轉泵，將一個Roots-type Roots真空泵和一個擴散泵結合為一個封裝。此系統有助於維持1 x 10-3至5 x 10-3 Torr的真空範圍。此外，排氣裝置有助於控制過程中的氧含量，也有助於清除腔室中的氣體。為了保持高質量的性能，機器中還集成了多個傳感器。它由一個熱電偶傳感器、一個壓力傳感器和一個質量流量傳感器組成，控制室內的溫度、壓力和流量。此外，該設備還配備了先進的安全工具，可確保退火過程的穩定性並防止任何損壞。Quixace是研發、教育實驗室和商業生產的寶貴工具，因為它是可靠的，並提供有保證的結果。它在退火過程中提供一致的精度和穩定性，讓用戶得到精確的結果。