二手 KOKUSAI Vertron III / DJ-803V #9242184 待售
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ID: 9242184
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
Vertical diffusion furnace, 8"
Oxide
Process: LPCVD ONO HTO
System controller: CX2001
SECS/GEM Communication: Load station
WIP Carrier storage, 8"
Wafer spacing: 5.5
Load size: 150 Slots
Boat rotation
Furnace:
Temperature controller: CQ1501A
(4) Zones
Heater type: Mid temp D4EX1048
Process temperature range : 600-625°
Flat zone length: 1200mm
Process tube material: Quartz
Wafer boat material: SIC
Tube seal configuration: O-Ring Seal (Viton)
Temperature control methodology: Closed loop (PID)
Thermocouple type: R
Process gases (LPCVD)
MFC: Z4400 / HORIBA STEC
Process gases: SiH4, HCL
Other gases: N2
Process pressure control system:
Vacuum pump: EDWARDS QDP80
Dry pump capacity: QMB 1200
Fore line size: 80
Pressure controller: CX1204
Pressure control methodology: Close loop (PID)
Process manometer
Pressure differential manometer
Pump manometer
Inline cold trap
Exhaust controller
BROOKS SMIF Loader
MIDAS Gas detector
Power supply:
Heater voltage: Single phase, 280 VAC, 42 K A/C
Controllers: Single phase, 100 VAC, 10K A/C
Clean unit: Single phase, 100 VAC, 10K A/C
No N2 purged loadlock
2000 vintage.
KOKUSAI Vertron III/ DJ-803V是一種擴散爐及配件，配有精密工程工藝的多種特性。它是一種熱處理工具，旨在提高焊接、熱處理、燒結、焊接、粘結等工藝的效率和精度。該DJ-803V的設計和制造采用了最新的技術進步。其機械運動和驅動系統的設計是為了減少用戶疲勞和校正運動模式，以匹配所需的過程。擴散爐采用優質耐用材料制成，可用於要求苛刻的應用。該爐配有保持溫度一致性的先進設計部件，恒定加熱速率為0.1至20C/min，冷卻速率為10至150C/min。還配備了先進的高精度傳感器、先進的熱監測以及自動溫度控制器，以確保精確的溫度控制。該DJ-803V還提高了高達0.01C的溫度測量精度。擴散爐還配備了一系列附加配件，以提高功能性，如微操縱器、燒蝕探針、芯片升降機和接線機構。多用途腔室還能夠進行多種工藝，從超細顆粒操作到等離子體聚合物膜生產。微操縱器可精確操作微觀組件和部件，而燒蝕探頭可用於有效標記和蝕刻材料。該DJ-803V還為用戶提供安全功能。它擁有多個安全傳感器，不斷監控過程的安全性，並在任何溫度超過操作極限時向用戶提供報警信號。進一步配備了防火措施，如高溫監測傳感器、自動關機、防熱損耗系統等。除了先進的特性外，KOKUSAI VERTRON III DJ-803V由於其設計良好的氣流系統，確保整個腔室和工藝腔室的溫度分布均勻，因此非常可靠。這有助於最大限度地延長擴散爐的使用壽命，並以最小的停機時間保持一致和可靠的性能。VertronIII/ DJ-803V具有多種特點，是一種完美的擴散爐，適用於需要嚴格溫度控制和精度的應用。
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