二手 KOKUSAI Vertron III #9232523 待售

KOKUSAI Vertron III是擴散爐及其配件領域的領導者。它是晶圓制造工藝的先進且成本效益高的工具，如摻雜劑擴散、氧化物蝕刻、金屬沈積等。該爐提供對流和輻射加熱兩種方法，在超高真空和惰性氣體環境下可精確控制高達1000 °C的溫度。利用先進的控制設備，可以快速高效地處理多個晶片。Vertron III具有模塊化設計,允許多種配置,使其成為一個靈活且可定制的系統。核心部件擴散爐，用超厚的墻壁建造，用於均勻的加熱和絕緣，並配有可調節的支撐架，以增加穩定性。其特殊的擴散室具有內置的旁通室和改進的冷卻單元，以保證出色的溫度均勻性。其他可用的附件包括帶有集成溫度傳感器的升降機構,稱為「升降臺」、手動裝載機、自動晶圓傳輸工具、開放式基座以及封閉式基座性能選項。KOKUSAI Vertron III的加熱資產包括一個頂部對流加熱器和兩個獨立的輻射加熱器，可用於通過改進方向流的控制來調節熱均勻性和增強空位擴散。該模型具有多達20個均勻穩定溫度分布段。此外，其先進的安全措施包括監控爐溫的高科技控制設備、數字安全報警器和可調節的手動安全閥。其內部壓力調節殼體保證了工藝條件的精確控制和均勻性，同時爐容可與兼容的硬件和軟件進行調節。簡而言之，Vertron III是擴散爐及其配件的頂級產品，性能最佳，操作高效，安全性高。其先進的特性使其成為半導體行業的領先者，並為定制芯片和其他電子設備的生產提供了經濟高效的解決方案。