二手 KOKUSAI Vertron III #9242178 待售

KOKUSAI Vertron III是一種擴散爐及配件設備，能夠快速準確的系統級膜沈積。它是一種靈活而強大的工具，為合金、復合或介電系統提供卓越的性能。結合廣泛的配件，非常適合材料研究、制造和開發應用。其性能基於靈活的模塊化設計,可確保其功能和功能的多功能性。它采用先進的高速直線進料裝置，與工業標準石英玻璃管完全兼容。這樣可以方便地進入爐子的復雜Crucible系統，這種系統提供了出色的均勻性和整個爐子溫度分布的準確性。Crucible溫度也可以直接從PC主面板進行編程，從而方便、精確地控制沈積速率和溫度。Vertron III能夠沈積精確度超過99.99%的合金，此外還有多種化合物和介電膜。其脈沖偏置源選項提供了無與倫比的精度和厚度控制，使得機器完美的薄膜沈積研究。為了進一步提高其可重復性和準確性，該工具采用了獨特的脈沖ECP（電子回旋等離子體）定向控制資產。可選的集成泄漏檢測模型允許準確檢測和測量氣體和蒸氣，這對於沈積和蝕刻過程尤其重要。一種開放式結構的可編程邏輯控制器（PLC）設備通過使用微處理器管理爐子的所有功能，進一步提高了可靠性。為了促進可重復的流程周期,KOKUSAI Vertron III采用了先進的分布式控制系統（DCS）,使設備能夠輕松快速地適應特定於客戶或可編程的流程。該機器還具有實時的全位置鏡像繪圖工具,以確保一致的過程性能。最後，該資產與廣泛的配件完全兼容，包括先進的石英模塊、惰性大氣室和其他先進的部件。這為用戶提供了從外延沈積到化學氣相沈積的各種擴散爐工藝。總體而言，VertronIII是一種由KOKUSAIelectric制造的高度先進和可靠的擴散爐及配件模型。其精確度、多功能性和與一系列配件的兼容性使其成為材料研究、開發和制造應用的完美工具。