二手 KOKUSAI Vertron III #9242183 待售

KOKUSAI Vertron III
ID: 9242183
晶圓大小: 8"
優質的: 2005
Vertical diffusion furnace, 8" Oxide 2005 vintage.
KOKUSAI Vertron III是一種擴散爐及相關配件,為所有類型的擴散過程提供卓越的性能。它具有大型三室設計和內部可編程溫度控制器。第一個腔室用於裝載基板,由第二個腔室中的元素加熱到受控溫度。第三室包含惰性氣體氣氛和維持恒溫的加熱元件。這種熔爐的工作原理是允許原子在材料中移動以形成鍵合,從而使擴散過程得以發生。它能夠將材料轉化為新的硬度和/或電氣特性水平。擴散過程利用摻雜劑(元素)、熱和壓力的組合,形成原子之間的動態連接。該工藝用於廣泛的應用,包括半導體器件的制造。這臺機器能夠運行所有類型的擴散過程,從低溫過程到高溫過程,如多晶矽退火和氮化矽條帶。也適用於薄膜沈積等工藝。該機具有良好的溫度、壓力和摻雜均勻性均勻性,以及出色的熱應力緩解。Vertron III提供了一個一致且控制良好的擴散環境,可以一致重復。還配備了安全特性和工藝監控。例如,它有一個防止有毒煙霧積聚的鼓風機系統,以及一個過溫控制系統。它還具有方便用戶的界面,便於傳播過程。KOKUSAI Vertron III是一種高效可靠的工具,非常適合擴散過程。它通過控制良好的參數提供可靠的擴散結果,為各種材料和應用創造了理想的環境。該機還配備了最先進的安全特性和控制器,以達到一致的效果。
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