二手 MRL 1148G2 #9192211 待售

MRL 1148G2是為生產優質矽片而設計的擴散爐及配件。該爐由氧化鋁、橄欖石或石墨加熱室組成。它的最高工作溫度為1,800°C，並提供功率範圍從15kW到19kW的電子束。集成的可編程控件使用戶能夠選擇所需的過程參數以實現擴散過程的高可重復性。集成的紅外高溫計確保樣品面積溫度均勻，而內部氧氣流量計有助於維持所需的擴散過程氣氛。MRL 1148G2還包括在擴散過程中避免形成脆性氧化物和應力的快速冷卻過程，以及用於監測擴散過程大氣的Quartz泡泡器。石英氣泡器用於檢測工藝室內所需的受控大氣，並輸送連續的氧氣流動。除擴散爐外，還包括石墨敏感器和石英晶片導軌。1148G2中包含的磁感器在擴散過程中提供晶圓的均勻加熱。石英晶片導軌確保矽片在整個過程中可靠地保持在磁感器的下端。在爐子內重新定位磁感器的能力允許多個、單個或特殊的晶圓擴散。1148 G2設計具有安全功能,包括真空隔熱屏障,可保持過程效率,同時避免對用戶造成傷害。氧氣流量計還在沒有檢測到氧氣的情況下切斷氣流，防止發生任何危險的爆炸或火災。這種隔熱屏障和氧氣關閉進一步使晶片在擴散過程完成後能夠冷卻。MRL 1148G2獲得能源之星認證，與其他擴散爐相比，完成擴散過程所需的能量更少。集成粉末冷卻系統還可以防止產生任何不需要的氧化物或化學雜質，以確保在整個擴散過程結束時獲得完美的結果。