二手 MRL Phoenix/Thermco 5200 #9210305 待售

MRL Phoenix/Thermco 5200
ID: 9210305
晶圓大小: 6"
LPCVD System, 6".
MRL Phoenix/Thermco 5200是一種擴散爐和配件,設計用於各種工業和實驗室應用。它能夠以極高的精度和精確度將樣品加熱到高溫。5200使用熱梯度和均勻的溫度輪廓來確保可重復的結果。氮氣氣氛允許對材料進行控制和可靠的加工。該爐由石墨加熱室和內徑95毫米、工作深度100毫米的頂載石英管組成。MRL Phoenise/Thermco 5200還包括從環境到1700℃的電子控制溫度,最大加熱速率為150℃/min。溫度通過使用熱電偶和伺服電動機的閉環設備調節。該爐還包括一個數字閥門,用於調節氮氣流入加熱室的流量。數字閥門裝有旋轉螺線管和PID控制系統,以保持對氮氣流動的精確控制。除了控制流量和溫度,如果加熱室內的壓力大於氮氣,閥門也用於防止回流。該爐配有兩對10段可調護套熱電偶,用於測量機組溫度和電弧。光學高溫計用於監測每個加熱元件的溫度,從而實現快速準確的溫度讀數。MRL Phoenise/Thermco 5200包括一個用戶友好的液晶顯示屏和一個自動數據存儲機,方便高效的數據收集和管理。可以將數據導出為Excel或其他兼容格式以進行進一步分析和操作。MRL Phoenix/Thermco 5200是一種可靠高效的擴散爐,非常適合各種應用。爐子溫度分布均勻,溫度精度高,護套熱電偶可調節,數位閥門,是實驗室和工業用途的理想選擇。
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