二手 MRL Phoenix #9076185 待售
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單擊可縮放
ID: 9076185
晶圓大小: 6"
LPCVD Furnace, 6"
(3) Tubes: Nitride LPCVD
(1) Tube: Poly LPCVD
Four tubes with semi-auto boat loader
Laminar flow and gas cabinet
High temperature element
40" Flat zone
Tube1: Nitride (SiH2Cl2, NH3,N2)
Tube2: Nitride (SiH2Cl2, NH3,N2)
Tube3: Nitride (SiH2Cl2, NH3,N2)
Tube4:Tisi.
MRL Phoenix是一種擴散爐和附件,設計用於在各種工業應用中提供可靠和精確的材料處理。該系統專門為氣體和蒸氣處理如擴散、氧化和表面生長而設計,可與一系列金屬、陶瓷和聚合物一起使用。這種獨特的熔爐具有強大的高溫熱源,最高可達1400 °C。它還包含一個直接的石英管大氣輸送系統,這確保了一個一致甚至擴散過程在整個內部組件。大氣可以根據特定的過程量身定制,因為它可以針對氧氣、氮氣和氫氣的特定水平量身定制。Phoenix提供了一種獨特的簡單負載設計,可以方便地從爐子外部取樣。樣品的所有必要裝卸都是通過冷卻機制完成的,在裝卸之前和裝卸過程中都要除去熱量。內置的水冷結構和優越的絕緣系統使爐子非常高效穩定,而高性能、高精度的輻射控制器則保證了對過程的最大控制。此外,爐子的外部由堅固的不銹鋼構成,具有優異的耐用性.擴散爐還有一系列光熱傳感器,幫助監測爐內溫度,以獲得準確可靠的數據讀數。他們測量溫度,防止過熱,使爐子保持安全。該爐還與一系列標準配件兼容,可以使其更容易縮放和測試樣品。附件包括要放入爐中的托盤和溫度控制器,以防止其過熱。總體而言,MRL Phoenix是一個前沿的擴散爐,在不同的行業有廣泛的應用。其強大的熱源、高精度高效的控制機制,以及質量的建設及其配件,使其成為各種工業需求的有效解決方案。
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