二手 POLYFLOW EP-C05 #9014479 待售

POLYFLOW EP-C05是POLYFLOW公司生產的擴散爐及配件。它是專為半導體芯片制造而設計的。擴散爐設有高壓熱區，能夠在高達1400 °C（2550 °F）的溫度。這使其成為高長寬比（HAR）應用的理想選擇,如摻雜、有效通道停止、垂直井剖面、華夫餅結構形成和選擇性發射極剖面。這種設備允許對摻雜過程進行精確的溫度和時間控制，從而產生質量優越、應力誘導缺陷較少的芯片。熱區通過水冷墻和高壓氨回路進行密封和冷卻，使之能夠快速熄火並防止大氣汙染造成汙染。該爐還具有提高純度、均勻度和產量的無氧環境。獲得專利的氧氣流傳感器系統提供工藝參數的實時反饋，有助於消除工藝後的金屬化缺陷。除了擴散爐，EP-C05還包括各種配件。第一個是RTP模塊，由多個具有自動循環控制功能的鎮靜劑頭組成。這確保了均勻的加熱和冷卻速率以及精確的溫度控制，從而使晶圓摻雜更加準確可靠。二是先進的高度控制機構，使基板與晶圓保持精確、可調的距離，從而實現後續工藝步驟的精確均勻性。其他附件包括用於實時過程監控的集成Web攝像機單元、用於改進漂移控制和減少晶片對晶片變化的單獨工具分區以及用於高效運行的各種晶片適配器。此外，該機利用穩定、低發射率的石英在擴散過程中具有優異的熱穩定性。這些特性和附件使POLYFLOW EP-C05任何芯片制造應用的理想擴散爐。