二手 POLYFLOW S 620 #9114213 待售

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ID: 9114213
晶圓大小: 8"
Omni-clean system, 8" FM4910 2002 vintage.
POLYFLOW S 620是一種擴散爐和附件,設計用於在微電子領域進行薄膜沈積和氧合過程。這是一項可靠和可靠的技術,它是為滿足業界最高的要求而開發的,即高純度、高吞吐量和經濟高效的沈積過程。S 620主要設計用於保形金屬膜,例如金或銅。它具有一個具有精確氣動控制氣氛的惰性腔室,確保在一個可重復的過程中最高質量的沈積。該室的結構還特別註意耐溫要求和堅固的隔離,使整個設備部件的溫度均勻。除此以外,POLYFLOW S 620擁有出色的防止系統加熱的高頻介質,需要很長的壽命才能翻新。S 620提供了許多優於競爭模式的優勢。首先,它在任何給定的零件表面產生最高的薄膜沈積均勻性,從而降低了整體材料成本。此外,POLYFLOW S 620還配備了高級可編程邏輯控制器(PLC),可自動控制所有單元進程。由於其緊湊的設計,因此占用空間非常小。此外,這臺機器還包括一系列高級配件選項,以提高工藝能力和精度,如高性能晶圓保持裝置、真空過程運行工具以及校準和測量工具。S 620在安全性方面也表現出色。它具有非常低的氧氣輸送速率、低的排氣水平和惰性環境,從而導致非常安全的操作環境,符合嚴格的行業安全標準。此外,POLYFLOW S 620還配備了一個獨立的保護資產,在發生故障時,模型將關閉,而不會損害用戶的安全。總之,S 620是微電子中金屬擴散到零件上的理想溶液。其先進的性能特性使其成為高精度和經濟高效的過程的理想選擇,而其可靠可靠的安全措施則提供了最高級別的安全性。
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