二手 SEMITHERM / SEMITOOL VTP 1500 LH #9025672 待售
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ID: 9025672
LPCVD Reactor furnace
Control unit
Manual
Facility requirements:
Furnace: 150 Amps
Vacuum pump: 150 Amps
Nominal voltage: +/- 15%
Nominal frequency: +/- 5%
Exhaust:
Furnace cabinet exhaust: 10" Duct
Minimum pressure: (-.5 in) at 900 CFM
Gas cabinet: 6" Duct
Minimum pressure: (-.5 in.) at 250 CFM
Process chamber:
1/2" Swagelock:
Minimum pressure: (-.5 in.) at < 1 CFM
3/4" Swagelock
Minimum pressure: (-.5 in.) at 5 CFM
Vacuum:
Wafer handling: 1/4" Swagelock - 24" HG static
Cooling water:
Cannister and baseplate:
1/2" Swagelock - 2 GPM at 20 psi inlet to outlet differential pressure
Maximum differential pressure: 40 PSI
Maximum inlet pressure:100 PSI
Swagelock return line, 1/2"
Drains:
Acid drain (Optional on wet ox)
Teflon tubing: 1/2"
Clean dry compressed air:
1/2" Swagelock - 80 PSI Minimum
5 CFM: Typical
20 CFM: Peak (100 PSI Max)
5 CFM Used for pneumatic control
15 CFM Used for element / Jar movement
Nitrogen - non process:
1/2" Swagelock - 80 PSI Minimum
5 CFM: Typical
30 CFM: Peak (100 PSI Max)
5 CFM: Baseplate (Used at high temp only)
25 CFM: Furnace filter (Used only when filter or fan fails)
30 CFM: Non-process nitrogen
Power supply: 208 V, 3-Phase, 60/60 Hz, 150 A.
SEMITHERM/SEMITOOL VTP 1500 LH是一種擴散爐，配有較小零件的低爐膛設計和較大零件的大爐膛設計。它是大規模生產半導體晶片的理想選擇。擴散爐采用多區溫度控制設計，為用戶提供了對熱處理的精確控制。該設備具有集成的溫度傳感器,可提高每個區域的精度和可重復性。該系統還具有低溫浸泡能力和先進的熔爐編程，兩者都提供了最優的熔爐控制。此外,SEMITOOL VTP 1500 LH還包括幾個附件,以提高用戶的便利性。采用包括的鉸接式和手動升降機系統使負載操作變得容易，可用於快速、安全地在爐內移動零件。水平對流風扇有助於確保適當的空氣流通和整個爐子的均勻加熱。用戶還可以選擇添加自動風扇快門單元、運動控制鐘機、lehr和其他附件,以提高精度。這種耐用可靠的擴散爐還提供了幾種安全特性，如壓力工具、雙壁腔室管道和重型門鉸鏈。該資產的最高運行溫度可達1400 °C，其加熱元件由能承受極端溫度的先進合金制成。現代的控制面板允許用戶精確地管理所有爐子的設置和操作。總體而言，SEMITHERM VTP 1500LH是一種先進的擴散爐，非常適合大型半導體生產。其多區溫度控制、集成溫度傳感器、低溫浸泡能力，為用戶提供了無與倫比的準確性和可重復性。該型號還具有鉸接式和手動升降機系統、自動風扇快門設備、lehr等幾個用戶友好的功能。最後，其高質量的加熱元件和安全特性使VTP 1500LH成為一種可靠、持久的擴散爐。
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