二手 SEMITHERM / SEMITOOL VTP 1500 #293760973 待售

SEMITHERM/SEMITOOL VTP 1500是SEMITOOL系列高科技氣相沈積和熱工程的擴散爐及附件。SEMITOOL VTP 1500提供單區域、高容量的容量,旨在實現可靠性和成本效益。擴散爐設計小巧耐用，熱速快，容積可達1500標準立方厘米。該爐包括範圍廣泛的加熱/冷卻/等離子體控制設備，允許控制和監測溫度、壓力和工藝時間。此外，SEMITHERM VTP1500包括一個免維護專利的集成3步氣流輸送系統和一個先進的等離子體單元，提供卓越的工藝再現性和工藝控制。SEMITHERM/SEMITOOL VTP1500特別適用於薄膜真空沈積物、薄膜熱蒸發、沈積擴散以及元件加工和包裝。SEMITOOL VTP1500的溫度範圍是從環境溫度到650°C,溫度準確且穩定,且與設定值的變化小於± 5°C。真空室維持的壓力，擴散過程為0.8毫巴至5毫巴，薄膜為10-4毫巴。標準操作條件下加熱速率為5°C/分鐘，可調至20°C/分鐘。SEMITHERM VTP 1500的多控制機提供各種信號采集、數據記錄和應用軟件。它包括一個數據采集工具，允許實時測量溫度和壓力，同時顯示關鍵工藝參數。控制器的嵌入式智能還具有內置的預測性熱管理資產,無需校準,可以安全高效地執行一系列熱過程。VTP 1500還采用了專利的真空泄漏控制（MCVTM）模型,提高了真空室泄漏檢測的速度,同時允許過程的完全重復性和減少泄漏時間機會（LTO）。這使得VTP1500適合高質量和高批量的生產過程。SEMITHERM/SEMITOOL VTP 1500非常適合半導體及相關行業的大規模生產過程，也非常適合研發。SEMITOOL VTP 1500具有卓越的工作溫度範圍、過程控制和溫度精度,是尋求高性能、可靠、經濟高效設備的客戶的完美解決方案。