二手 SOLITEC VQC-200 #9246336 待售

SOLITEC VQC-200是一種擴散爐及其相關配件，旨在提供高純度和非常高質量的半導體晶片。這對於高純度晶片的生產和制造具有優異的電氣、化學和光學性能是非常好的。該設備包括溫度高達1350°C的真空控制環境以及擴散和快速熱處理室。該室由高級不銹鋼和石英塗層基板構成，用於均勻的熱通量。擴散過程效率高，腔室可以輕松地快速裝卸，以簡化生產。VQC-200是為高產可靠操作而設計的，具有均勻且可重復的擴散參數。具有安全互鎖開關、過溫保護、短路保護等多種安全特點，是晶圓生產中的安全選擇。此外，綜合安全警報可以檢測任何溫度差異和故障和溫度偏移的警報。該系統非常方便用戶使用,並提供數據記錄功能,以準確記錄整個生產過程中的擴散參數,並便於進行審計。它甚至以通用CSV格式自動報告數據，並且可以上載到共享存儲區域，或者簡單地打印出來進行進一步處理。此外,分析器界面還提供靈活的配方定義和可視化的產品控制。該單元也極具能源效率，具有低噪聲排放。其經過重新設計的空氣冷卻機實現了最佳的流量和平穩的溫度調節。SOLITEC VQC-200還有一個可調氧化鋁通道，可以微調加熱和冷卻過程，從而獲得準確和可重復的擴散。最後，VQC-200是一種全自動工具，可以很容易地與其他擴散爐和相關工具集成。這進一步簡化了擴散過程，大大降低了設置成本。總而言之，SOLITEC VQC-200是控制、高效、高純度擴散的絕佳選擇。