二手 SVG / THERMCO 5100 #9265352 待售

SVG/THERMCO 5100是一種為提供超高純度和精密爐性能而設計的擴散爐。它是進行可復制、緊密的過程均勻性和快速的過程周期的理想選擇。SVG 5100具有屢獲殊榮的設計,由七個區域組成,可單獨控制或編程以完成晶圓處理。這七個區域的配置允許對各種大小的晶片進行擴散處理，從小晶片到包括大晶片。每個區域都配備了先進的可變熱區，滿足所有的需求，當涉及到一個過程配方。不同區域配有多個加熱元件，可實時啟動，確保產品循環快速準確加熱。熔爐元件的電性能因區域而異，以適應不同的晶圓尺寸和加工條件。電氣元件被精確控制，允許300°C至1,500°C的不同溫度。這使得THERMCO 5100非常適合一系列過程，如反應退火、應力退火和晶圓中的雜質擴散。為了保證一個一致的、可重復的退火過程，5100配備了空氣循環風扇和溫度控制的窗口通風口。機器裝有可編程計時器，允許用戶設置每個工藝周期的溫度和寬度。此外,用戶可以從單個遠程終端訪問和監視整個過程。SVG/THERMCO 5100在與惰性大氣（如氮氣或氙氣）結合使用時，使用戶能夠在整個過程中保持2°C均勻性的同時，實現極純的擴散過程。SVG 5100還具有諸如工藝室、壓力均衡配件和真空泵等一系列通道,可用於多種用途。THERMCO 5100設計具有卓越的安全性和性能,具有安全聯鎖和緊急關閉保護功能。此外，該爐還配備了一整套操作報警器，用於檢測過程問題並防止該爐發生災難性故障。總而言之，5100是一種用途特別廣泛、可靠的擴散爐，它提供可靠的過程控制，具有卓越的安全特性。熔爐的模塊化設計和先進特點為所有擴散過程要求提供了高效可靠的平臺。