二手 SVG / THERMCO 5100 #9265353 待售

SVG/THERMCO 5100是由SVG，Inc.designed製造的擴散爐及配件，提供晶圓擴散過程的精確控制。這個工具是一個先進的實驗室系統，用於研發（R&D）和高溫擴散和退火過程。它是一種多區水平爐，具有多種特點，包括高溫能力、精確的溫度控制和多種配置。該水平爐由內絕緣殼、外殼結構、多區加熱段組成。它還包括一個升空蓋（LFC）和波紋管機構，用於有效的波紋管操作和出色的均勻性控制。LFC可確保低顆粒計數和均勻的工藝溫度。SVG 5100配備了CRIUS數字控制器和可編程邏輯控制器（PLC），提供精確、實時的溫度控制。CRIUS數字控制器允許設置和監測關鍵溫度設置以及對爐子實際運行參數的實時讀數。PLC提供了均勻性和重復數據的工藝調整，並確定了爐子所需的熱剖面。該爐有一個加熱區，包括兩個紅外石英元素，用於整個晶圓寬度的溫度均勻性。它還具有保護元件,稱為電氣安全聯鎖,可防止意外損壞工具。最後，精密的溫度控制模塊進一步優化了整個加熱區溫度的均勻性。THERMCO 5100還具有旨在提高熔爐壽命的環境安全控制功能。惰性氣體凈化系統允許引入氮氣、氙氣、氫氣、氦氣或其他惰性氣體，以提供有效的防止氧化和汙染的保護。該系統可確保安全、清潔和過程可重復性的最高標準。THERMCO, Inc提供的這種價格合理、高效的高溫擴散和退火工具非常適合為大容量應用（如半導體封裝、MEMS和Nanochip集成）提供高度可接受的晶圓均勻性和準確性。其可靠的溫度控制、優異的工藝重復性和環境安全特性，使5100成為研發實驗室在質量和精度最受關註時的絕佳選擇。