二手 SVG / THERMCO 5100 #9411905 待售

SVG/THERMCO 5100是一種擴散爐及附件設備，非常適合各種困難的熱和化學加工應用。配備了令人印象深刻的一系列功能，SVG 5100可以可靠地最大限度地提高工藝效率，提高批量均勻性，減少周期時間。THERMCO 5100系統的主體由電源、泵和高真空室組成。電源安裝在雙門機櫃中,可進行精確的溫度控制,並提供精確的實時溫度。這些泵位於主室內部，通過視口可見，提供了最大的可靠性，並確保達到所需的工藝參數。在腔內可以安裝一個額外的泵站，因此用戶最多可以有三組泵。因此，5100在整個室內顯示出極好的溫度均勻性。SVG/THERMCO 5100 Unit還提供許多高級配件,以提高性能和簡化流程。例如，它有多種模塊化晶片載波，可以快速、安全地裝卸晶片。它還有多個真空控制選項，包括手動調節閥和自動控制器，以及如果需要的惰性大氣控制機。最後，一個可選的獨立電源的石英燈架可用，因此可以在腔室內部安裝燈來查看晶圓處理。結合這些特點，使SVG 5100成為可靠高效的擴散爐及配件工具。它提供精確的溫度控制，其晶片載體、真空控制選項和支持的附件允許用戶根據自己的特定需求定制其資產。這反過來又導致了更高的吞吐量和更可靠的結果。