二手 SVG / THERMCO 5200 #9250085 待售

SVG/THERMCO 5200擴散爐是一種高效可靠的工具，用於制造厚度精確均勻的晶片。這種全自動爐提供各種配件定制晶圓生產過程，使你的生產要求得到最大精度和精確度。SVG 5200是一種單區爐,具有先進的區域溫度控制系統,為化學氣相沈積（CVD）和化學機械平面化（CMP）工藝提供了理想的氣氛。該爐可達到1000C的溫度，在整個區域保持均勻和穩定的溫度。為了獲得最高精度，THERMCO 5200配備了一個用於連續監測的光學石英窗口，以及一個氣體流動探測器系統，在生產新晶片時確保了最佳純度和可追蹤性。5200也是高度可配置的，允許用戶調整多個進程參數。通過改變氣體流動或退火氣氛的壓力，用戶能夠在晶片中達到所需的厚度和光學特性。為了保持SVG/THERMCO 5200的高溫均勻性，爐子裝有主動水冷擴散襯裏。通過在整個退火區提供一致、穩定的溫度，班輪有助於確保最佳效果。對於更低的熱梯度,還可以安裝可選的石墨絕緣蓋。除了溫度控制外，SVG 5200還具有先進的工藝控制能力，如壓力監測、外部氣體控制、氧氣消耗控制等。這可確保用戶能夠嚴格控制其流程,同時降低其受到汙染或其他生產缺陷的風險。THERMCO 5200兼容全陣列配件，包括石英敏感器、石英提升銷和可移動石墨夾具。5200擴散爐為生產優質、均勻的晶片提供了高效可靠的退火解決方案。憑借其頂級的溫度調節系統，用戶可以放心，知道他們的晶片將以最高的精度和精確度生產。SVG/THERMCO 5200具有多種配置選項和眾多可選附件,為成功的晶圓生產過程提供了所需的多功能性和優化。