二手 SVG / THERMCO / AVIZA 5000 #9195863 待售

SVG/THERMCO/AVIZA 5000是用於半導體制造的高性能擴散爐及配件。該爐設計用於控制擴散、退火和氧化過程。它具有先進的爐子設計和加工靈活性，能夠在整個熱質量中實現精確的溫度控制和出色的溫度均勻性。其先進的雙室結構，帶有加熱的方坯傳遞室，提供了最大的絕緣和熱環境的控制以及優越的工藝均勻性。SVGTSVG 5000裝有一個高性能的磁感器，由一個單一的crucible插件和Isothermal Jacket所包圍，允許精確的溫度控制和減少熱汙垢。該爐包括自動化和手動抽水系統、電子控制惰性氣體以及先進的溫度和壓力監測能力。該爐還配備了5區可編程加熱器，可精確控制高達2000 °C的溫度。加熱區分為三個內部區域和兩個外部區域，提供了最優的溫度均勻性和控制以及減小的梯度。獨立可調、可編程的內區設計，以減少熱傳遞時間，產生更一致的性能。該爐還包括一系列附加的工藝功能，如先進的安全監控和報警能力，包括PID溫度控制和過溫保護。此外，該爐還包括一個氧氣凈化/還原系統，能夠有效控制氧化過程。為確保可重復的性能和一致、可靠的結果，該爐采用先進的絕緣和冷卻系統。該結構采用環氧樹脂填充的雙模塊化絕緣室和集成PCR冷卻系統，在整個熱質量中提供均勻的冷卻。保溫材料在工藝室內提供了更好的溫度均勻性和高效的冷卻,有助於確保即使在最高溫度設置下也可重現該工藝的性能。該爐易於使用,具有大型觸摸屏界面,可提供一系列高級流程功能、直觀的編程和控制、自動晶圓處理系統以及在線監控和診斷。用戶界面專為易於使用而設計,具有直觀的控件和顯示屏,可輕松創建、監控和調整配方。該爐專為要求苛刻的生產和研究應用而設計，提供快速、可重復和可靠的性能。