二手 SVG / THERMCO / AVIZA 5200 #9225999 待售

SVG/THERMCO/AVIZA 5200擴散爐是一種堅固、可靠、用途廣泛的擴散爐，旨在提供多年不間斷、卓越的擴散處理性能。SVG 5200可在擴散的所有階段提供精確的溫度控制,提高工藝產量。AVIZA 5200配備了獨一無二的專利立式鋼架熱區，可同時處理多達四個800毫米²晶圓載波。這種創新的設計允許大規模生產，從而帶來更快的周轉時間。該爐還包括等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）套件，產生優質、低缺陷的擴散層，進一步提高產量。該爐具有很高的柔韌性，能夠容納各種晶圓尺寸，直徑可達25毫米。此功能允許操作員達到更高的吞吐量,而無需傳輸晶圓或調整設置。用戶友好的控制器可確保設置和參數能夠直觀準確地輸入和維護,只需操作人員進行最少的幹預。為確保最大安全,5200擴散爐配備了多種安全功能,如故障保險箱、開蓋檢測和安全系統。它還提供出色的熱性能和環境保護,在熱區保持溫度精度± 1 °C,在冷區保持溫度精度± 0.1°C。THERMCO 5200擴散爐的其他特點包括：多程序存儲和召回、可配置配方、手動或自動操作、多加熱速率選項以及系統監控軟件。該爐的設計旨在確保用戶以其尖端的設計、卓越的材料和無與倫比的工程技術獲得最高質量的結果。