二手 SVG / THERMCO / AVIZA 5204 #9043980 待售

SVG/THERMCO/AVIZA 5204是半導體工業晶圓加工應用的理想擴散爐及附件設備。該系統提供了最佳的溫度控制和均勻性，以達到最佳的設備性能。腔室尺寸為375x350x250 mm，腔室最高可達1150 °C的溫度。SVG 5204具有定制的晶片加載單元和內部卡帶到卡帶傳輸機。內側溫度傳感器可確保精度並控制溫度曲線。徑向擴散時間設置簡單,具有廣泛的可重復性.其他功能包括Precision Swing Arm Load Lock （PAL）腔室、高級陶瓷面板、固態功率控制電路以及使用AutoTune工具的PID控制。AVIZA 5204的加熱元件是接地電阻元件，每元件電阻為1歐姆。這樣可以確保室內溫度分布均勻。整個過程的溫度控制準確一致。在加熱元件和腔室之間還有一個獨立的隔熱罩，以提高安全性和溫度精度。該擴散爐還具有氣體分布噴嘴，用於均勻氣體流動。它有一個用於氣體回路的不銹鋼波紋管，以及一個用於排氣風扇的單獨開/關開關。可以根據所需的速率調整風扇,以達到最大效率。板載計算機還監視和記錄所有數據,以確保控制和可追蹤性。此外，5204配件包括石墨敏感器、高溫動態工藝電纜、高溫工藝線法蘭、低溫侵略性工藝線塞。每個配件在爐具的整體設計中起著重要的作用.THERMCO 5204擴散爐及附件模型確保在整個晶圓制造過程中獲得準確、一致和可重復的結果。它是尋求可靠、高效和經濟高效解決方案的半導體制造商和研究實驗室的理想選擇。