二手 SVG / THERMCO / AVIZA 5204 #9226092 待售

SVG / THERMCO / AVIZA 5204
ID: 9226092
晶圓大小: 6"
Horizontal furnaces, 6".
SVG/THERMCO/AVIZA 5204是一種擴散爐及配件設備,設計用於優化材料沈積到各種工業中使用的晶片和基板上。這個先進的系統有一個垂直安裝的不銹鋼石英管,裏面裝有在沈積過程中均勻溫度分布的加熱氣體,以及一個可靠的機械壓力控制單元和一個氣體混合設施。可選排氣機旨在確保潛在汙染物不會沈積在樣品上或樣品周圍。水平安裝的石英管有利於快速的加工時間和較低的底物溫度。設計了一種集成的石英循環泵,將加熱氣體以極高的精度引導到基板上,並將熱梯度降至最低。先進的腔室排氣工具有助於通過安全地去除蒸氣來降低氣體濃度。氣體混合設施包括一個精密比例閥和一個帶專用氣體歧管的綜合氣泡裝置,以提供沈積過程所需的清潔、受控氣體氣氛。敏感樣品使用SVG 5204的位置晶片支架、提升手柄和可調節冷卻氣室安全處理。可以方便地調節樣品支架的高度和角度,使樣品加熱盡可能完美。晶片持有者對樣品提供最小壓力,確保加熱氣體的均勻分布。可選的外部安裝控制器包含一個微處理器,可確保正確、準確地執行進程。控制器的觸摸屏顯示允許直接操作模型的所有功能,從而為用戶提供最大程度的過程控制。它還具有預設程序,以進一步簡化流程並提高效率。總體而言,AVIZA 5204是一種高性能的擴散爐及配件設備,可以滿足各行業的沈積需求。其精確的氣體分配和溫度控制有助於確保即使是最敏感的表面也能得到統一的結果,而控制器的易用性及其自動編程選項有助於提高效率和減少浪費。
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