二手 SVG / THERMCO / AVIZA AVP 8000 #9172756 待售
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ID: 9172756
晶圓大小: 8"
優質的: 2002
Vertical LPCVD furnace, 8"
SELOX
Process type: Selective oxidation
System interface:
Computer: Sun ultra 5
System software: AVP Software version 2.6.1
Printer assy: No
Interlock test procedure: TBD
AC Power input options and line frequency: 480 VAC, 3 phase, 60 Hz
Wafer type: Notch
SMIF: No
Cassette type: Entegris
Cassette model: KA202-80SH-47C02
Carousel:
(16) Cassettes
(2) Levels
Wafer counter: Present
End effector type: Optical sensor
Includes:
Post process exhaust burning unit
Heater element:
(5) Zones
Mid temp
P/N: 602783-08
Torch assy:
P/N: 172441-003
Torch spike TC:
P/N: 739655-001
Torch injector TC:
P/N: 739603-001
Thermo-couple type: R
Profile:
P/N: 910601-001
Spike:
P/N: 103365-01
Over temp:
Zones: 1-4
P/N: 103281-01
Over temp:
(5) Zones
P/N: 103365-01
Scrubbed exhaust: 4" Bottom
Cabinet (non-scrubbed) exhaust: 6", top
Door oring: Face seal / O-Ring
P/N: 105640-02 / 781053-003
TCA Controller: No
Door: Stainless steel door
P/N: 601486-02
Quartz:
Tube: Dual-wall
(1) Piece
P/N: 105678-01
Liner: No
Silicon carbide element liner: No
Quartz boat: No
Silicon carbide boat: Present
P/N: 109085-03
Pedestal assembly: Present
P/N: 108930-01
Silicon carbide baffle: Present
P/N: 109086-01
Quartz crossover: No
Quartz external Ox (Troch) chamber:
(1) Piece
P/N: 815016-665
Torch assy: External
Exhaust elbow: Present
P/N: 105936-01
TC/Seath: Integrated into quartz tube
Gas panel: Gas schematic
Gas panel:
P/N: 606820-01 Rev: 4
P/N: 606821-01 Rev: 5
MFC Type: Unit 1660 / Tylan FC 2900
N2 Dilution: 500 SLPM (Oriface)
H2 Low MFC: (1) SLPM
P/N: 910459-146
H2 High MFC: (30) SLPM
P/N: 910459-155
Purge N2 MFC: No
UHPO2 MFC: (3) SLPM
P/N: 910459-154
UHPN2 Low MFC: (2) SLPM
P/N: 908165-012
UHPN2 High MFC: 30 SLPM
P/N: 910459-009
Gas filter size / Type: Wafer guard
P/N: 907063-010, 001
Gas panel N2 pressure gauge size / Type:
Span pressure transducer: 0 - 250 psia
P/N: 701990-003, 002
P/N: 1-909909-001
Gas panel O2 pressure gauge size / Type:
Span pressure transducer: 0 - 250 psia
P/N: 710990-002
Gas panel H2 pressure gauge size / Type: No
P/N: 701990-003
Gas panel N2 size / Type: No
P/N: 710990-002
Gas panel N2 regulator size / Type:
Tescom: 0-60 psig
P/N: 1-908552-001
Gas panel O2 regulator size / Type:
Tescom: 0-60 psig
P/N: 1-908552-001
Gas panel H2 regulator size / Type:
Tescom: 0-60 psig
P/N: 1-908552-001
Gas panel N2 regulator size / Type:
Tescom: 0-60 psig
P/N: 1-908552-001
Boat area N2 purge: Flow control
Carousel area N2 purge: Flow control
Pressure settings:
UHPN2: 45 ± 10 psig / (55) SLPM
UHPO2: 45 ± 10 psig / (3) SLPM
N2 Purge: 45 ± 10 psig / (30) SLPM
H2: 45 ± 10 psig / (30) SLPM
N2 Dilution: 60 +5, -0 / (500) SLPM
N2 Automation: 100 psig
2002 vintage.
SVG/THERMCO/AVIZA AVP 8000是一種擴散爐設備，設計用於制造、研發和工業應用中的各種退火和擴散過程。系統有不同的配置和大小,具體取決於所需進程的大小和類型。該單元的特點包括負載電容器高達30kg，腔室尺寸高達38 x 66 x 23，溫度範圍為10至1000 °C，高溫均勻度± 1°C，精度± 1°C。該機還包括可編程溫度控制器、可編程坡道速率、設定點控制和冷卻能力。SVG AVP 8000系列系統還包括多種配件，如石英保護管、自旋旋轉器、溫度監視器、真空泵、真空計，以及多種傳感器，如高溫計、熱電偶、輻射高溫計和護套熱電偶。該工具還具有多種工藝平臺，如單晶片、多晶片、批次和連續。該資產具有超聲波熱載荷模型、自動開關門和送氫能力。該設備還具有氧氣凈化能力，有助於消除環境汙染物造成的錯誤讀數。該系統還具有內置冷卻循環,以防止材料過熱和熔化。該單元還具有通量控制功能，使操作員能夠調整用於擴散過程的通量。機器可以通過多種支持工具遠程操作，如PV-Pro軟件。軟件提供了圖形用戶界面，允許用戶訪問工具的性能和狀態數據，以及程序流程和監控資產性能。軟件包括有關警報和錯誤的信息,以及數據日誌記錄,可用於查看流程性能。模型還包括一個集成的數據日誌,其中包括過程中記錄的所有數據,包括材料使用情況、溫度配置文件、設定點、參數和結果。這些數據可用於查看流程性能並優化流程以備將來使用。該設備旨在滿足各種應用的安全要求，如空調、供暖和制冷研究所（AHRI）、電氣電子工程師學會（IEEE）和國際安全儀器協會（SIA）。此外，該系統設計用於通過以太網連接進行遠程訪問，從而允許數據從設備到其他系統的通信。機器還配有各種配件，如百葉窗、隔熱罩和隔熱罩，使操作員能夠保護刀具並能夠有效操作。
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