二手 SVG / THERMCO / AVIZA Evolve #9226878 待售

SVG / THERMCO / AVIZA Evolve
ID: 9226878
晶圓大小: 12"
VF Low temperature SiN, 12".
SVG/THERMCO/AVIZA Evolve是一種先進的用於處理半導體材料的擴散爐及配件設備。它是適應現代半導體器件設計要求的研發和生產的首選工具。這一處理工具能夠整合原地和異地工藝,以滿足最新微芯片設計和工藝的挑戰性要求。SVG Evolve系統為擴散、離子植入、氧化、氮化等過程提供創新解決方案。AVIZA Evolve單元旨在實現一個集成的、直接的控制過程。它具有先進的配置文件控制器和用於過程控制的多區域功能。它還提供了高級工具,如圖形驅動命令排序、高級端口協議控制以及針對可定制序列的特定於產品的命令協議。機器的智能電源還允許對加工材料進行精確控制。演進式擴散爐結構超緊湊,結構堅固,利用優良的絕緣和隔熱,提供精確、可重復的結果,汙染幾率微乎其微。蒸發室和防護罩的設計都是為了最大限度地減少粒子產生,最大限度地減少汙染的可能性。分析工具還通過快速、可靠的信號分析和氣體傳感能力提供準確的結果。此外,速度更快的渦輪擴散,加上具有命令排序和數據記錄功能的高級、高度精確的處理控制,可以實現快速的流程周期。最先進的數字控制器和集成的過程控制器可通過擴展輸出、命令序列和日誌記錄實現優化的過程控制,從而實現全面的數據分析。此外,THERMCO Evolve工具還提供了廣泛的附件,如石英連接器、石英器、多端口分體式接頭適配器和鐘形罐系統,為半導體加工提供了一個多合一的解決方案。此外,該資產與大多數標準熱電偶類型和附件兼容,使其成為應用程序的通用選擇。SVG/THERMCO/AVIZA Evolve擴散爐及配件是一種先進的解決方案,旨在提供卓越的工藝控制、精度和準確性。憑借其緊湊的尺寸、先進的調諧、多種性能選項以及集成就緒的設計,該型號是最苛刻的半導體器件處理應用的理想選擇。
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