二手 SVG / THERMCO / AVIZA RVP-300 Plus #293600509 待售
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SVG/THERMCO/AVIZA RVP-300 Plus是專門為矽化、離子註入和類似金剛石的薄膜沈積工藝而設計的擴散爐及配件。該設備旨在提供最高精度和控制水平,同時提供最一致的結果。SVG RVP-300 Plus非常適合要求最高精度的應用,例如薄膜沈積,因為它在其80mm磁化器上具有極快的熱傾斜率和優異的熱均勻性。擴展傳輸區、雙區能力和使用LPCVD和RPCVD氣體的能力使該系統能夠滿足最苛刻的應用。該機配備了可編程的雙區動力控制、實時溫度控制以及手動或半自動模式下的操作能力。其他功能包括自動調諧、真空控制和1 μ的數據采集機,以獲得精確的結果。AVIZA RVP-300PLUS還配備了雙頻加熱工具和堅固的環環/無環石英熔爐。這允許根據應用程序進行連續流或批處理。最後,該資產的模塊化設計允許將來擴大或重新配置爐子以提高容量和提高性能。總體而言,RVP-300PLUS是一個極好的擴散爐和附件組合模型,旨在提供最高精度和控制,同時在薄膜沈積、離子註入和其他苛刻的應用中提供一致的結果。THERMCO μ Plus憑借其雙區域電源控制、1 RVP-300數據采集設備和堅固的石英crucible,確保滿足最嚴格的要求並確保最高效率。
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