二手 SVG / THERMCO / AVIZA RVP-300 Plus #293600529 待售

SVG/THERMCO/AVIZA RVP-300 Plus是為在半導體行業工作的人制造的先進擴散爐及配件。SVG RVP-300 Plus提供了整個SVG系列的最高性能能力,並為創建創新的集成電路設計提供了出色的平臺。它提供了無與倫比的單發均勻性,專為滿足特定工藝需求而設計。AVIZA RVP-300PLUS提供了可配置參數的全面列表,包括溫度範圍、氣流和停留時間。爐溫從環境加熱至1000 °C，支撐的最大晶圓尺寸直徑可達300 mm。它還帶有一個創新的預熱選項，以提高整個晶圓的均勻性。THERMCO RVP-300PLUS包括一個電位控制器和控制電子設備,最多支持4個輸出。氣源提供多達12種由氮氣、氫氣、氙氣和氧氣組成的氣體。該爐可以接受一系列允許低壓外延（LOEE）和先進的光學和鈍化工藝的工藝氣體。AVIZA RVP-300 Plus是一種經過優化以構建復雜集成電路的多面過程擴散爐,包括一系列高級功能。它配備了顯示溫度、壓力等關鍵系統信息的智能接口。此界面允許自動執行諸如配方編輯和數據記錄等任務。此外,SVG RVP-300PLUS通過其創新和高效的熱管理系統提供了更好的正常運行時間。此外,THERMCO RVP-300 Plus還配備了精密的傳感器和光學窗口,用於查看過程。一個紅外照相機和帶有熱解石墨（PG）過濾器的瞄準鏡可作為從爐子上可視化整個溫度曲線的選項。該爐還配備了氣體分析儀，安裝後能夠評估氧氣、碳和氣體的惰性雜質。SVG/THERMCO/AVIZA RVP-300PLUS是一種用途廣泛、功能強大的擴散爐,可在市場上使用,為客戶提供無與倫比的可靠性、效率、安全性和性能。利用現有的最新技術，它提供了提高半導體器件性能和降低生產成本的能力。