二手 SVG / THERMCO / AVIZA RVP-300 Plus #293600535 待售

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ID: 293600535
優質的: 2007
Vertical diffusion furnace 2007 vintage.
SVG/THERMCO/AVIZA RVP-300 Plus是一種擴散爐及配件,旨在滿足半導體和電子應用的挑戰性要求。這種精確可靠的設備旨在為各種工藝提供最佳環境,實現高效率,高速晶片對晶片工藝時間為0.8分鐘。SVG RVP-300 Plus針對高達1500°C的高溫過程進行了優化,其獨特的背面加載機制確保晶圓以爐區板為中心,從而在整個晶圓表面實現精確、均勻的加熱。此外,AVIZA RVP-300PLUS還具有試運行或生產規模系統中可用的最高熱均勻性(跨整個晶片± 2°C)。SVG/THERMCO/AVIZA RVP-300PLUS擁有一系列允許靈活操作和過程集成的功能。一個可選的氣體輸送歧管允許精確控制後側氣流,以改進晶圓冷卻。手動開蓋器和溫度報警器可確保操作環境輕松安全。此外,RVP-300 Plus采用電子氣體安全截斷開關設計,爐子可使用多種工藝氣體操作,包括氫氣和氮氣混合物。SVG RVP-300PLUS采用定制的遙控界面設計,具有可調節的觸摸屏顯示屏,為用戶提供一目了然的性能反饋。本地/遠程選擇器交換機允許用戶在各種操作模式(如關閉、低溫和高溫)之間切換。RVP-300PLUS還提供了脈沖模式功能,可在過程條件不規則的情況下控制溫度和浸泡時間。這個先進的熔爐和配件單元標誌著SVG致力於提高設備性能和客戶滿意度。AVIZA RVP-300 Plus機器不僅提供精確的溫度控制和一致性,而且還提供業界領先的過程靈活性和易用性。此工具的價格也很合理-具有許多提供高投資回報率價值的功能。憑借所有這些功能,THERMCO RVP-300 Plus無疑是半導體和電子行業高質量性能和精確度的首要選擇。
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