二手 SVG / THERMCO / AVIZA SVG 7000 #293747284 待售
網址複製成功!
ID: 293747284
晶圓大小: 6"
優質的: 2003
Diffusion furnace, 6"
Laminar flow hood
Compumotor robot
ACE Panel
Dual boat elevator
Anti-static bar
Element lift
Torch controller
CRT PCE Controller
Boat type: Quartz, 6" and pedestal, 8"
VCR Gasline interconnect
SCHUMACHER Trans LC bubblier
MFC:
(2) N2 (30 SLM / 3 SLM)
(2) O2 (20 SLM / 2 SLM)
H2 (10 SLM)
Wafer storage:
Dual boat
(8) Carriers
2003 vintage.
SVG/THERMCO/AVIZA SVG 7000是一種最先進的擴散爐設備,設計用於對具有雜質的半導體材料進行精確、均勻的摻雜,以改變其電性能。這款先進的爐配備了廣泛的特性和配件,使其成為半導體行業大批量生產環境的理想解決方案。SVG SVG 7000的核心是一個高溫工藝室,能夠達到高達1200攝氏度的溫度。這允許摻雜原子有效擴散到半導體底物中,確保了受控和可重現的摻雜過程。腔室由優質石英材料制成,提供出色的熱穩定性和對苛刻工藝條件的抗性。AVIZA SVG 7000配備了精密的氣體輸送系統,能夠精確控制工藝室內的摻雜氣氛。各種摻雜氣體如砷、磷、硼可以以特定的流量和濃度引入爐中,以達到半導體材料中所需的摻雜剖面。這種對氣流的精確控制確保了整個基板表面的均勻摻雜,從而產生一致的電性能。為了進一步提高SVG 7000的性能,該裝置配備了先進的溫度控制機制,允許在摻雜過程中精確調整爐溫輪廓。這確保了半導體材料暴露在高效摻雜擴散所需的最佳熱條件下,從而得到高度可預測和可靠的摻雜結果。除了其核心功能外,THERMCO SVG 7000還配備了一系列滿足特定工藝要求的附件和可選功能。這些附件包括用於自動裝載和卸載基板的晶圓處理機器人,以及用於實時數據采集和分析的高級過程監測和控制系統。該機還可以與外部軟件和控制接口集成,以無縫集成到現有生產線中。SVG/THERMCO/AVIZA SVG 7000的設計考慮到安全性和可靠性,具有堅固的結構和高質量的組件,可確保長期的性能和正常運行時間。該工具易於操作和維護,具有用戶友好的界面和診斷工具,可簡化故障排除和維護任務。總體而言,SVG/THERMCO/AVIZA AVIZA 7000擴散爐資產是高通量半導體摻雜應用的前沿解決方案。其先進的特性、精確的控制能力和多功能性使其成為尋求在生產環境中實現一致和可重現的摻雜結果的半導體制造商的理想選擇。
還沒有評論