二手 SVG / THERMCO / AVIZA SVG VTR 7000 #293747368 待售
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ID: 293747368
晶圓大小: 6"
優質的: 1998
Furnace, 6"-8"
Laminar flow hood
MFC: (2) N2, (2) SiH4, (2) PH3
Compumotor robot
ACE Panel
Dual boat elevator
Anti-static bar
Element lift
CRT PCE Controller
Boat type: Quartz, 6" and pedestal, 8"
VCR Gasline interconnect
Gases: N2, SiH4, PH3
Wafer storage:
Mon
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(6) Prod
1998 vintage.
SVG/THERMCO/AVIZA SVG VTR 7000是為半導體制造設施中晶圓的精確熱處理而設計的高性能擴散爐。這種精密的工具是生產先進集成電路和其他半導體器件的關鍵部件,提供必要的熱處理以達到特定的材料特性和器件特性。SVG SVG VTR 7000擴散爐具有強大的設計,滿足了現代半導體制造工藝的苛刻要求。爐膛采用優質材料建造,導熱性好,耐腐蝕,保證熱分布均勻,運行時間長,性能可靠。對腔室設計進行了優化,使溫度梯度最小化,並促進了向晶片的有效熱傳遞,從而實現了一致的處理結果。AVIZA SVG VTR 7000擴散爐的關鍵特征之一是其精確的溫度控制能力。爐子配有先進的加熱元件和溫度傳感器,可以在整個熱處理周期中進行精確穩定的溫度控制。此控制級別對於在加工晶片中實現所需的擴散剖面和材料特性至關重要,從而確保高設備性能和可靠性。除了溫度控制外,SVG VTR 7000還提供了一系列全面的過程控制和監控功能,以提高擴散過程的整體性能和效率。爐子配有一個精密的控制系統,可以對復雜的熱剖面和根據特定設備要求量身定制的工藝配方進行編程。實時監控和反饋機制使操作員能夠根據需要跟蹤和調整流程參數,以優化性能和產量。THERMCO SVG VTR 7000擴散爐也是為方便操作和維護而設計的,其特點是方便晶片的高效裝卸,以及方便清潔和維修。爐子配有安全聯鎖和警報器,確保操作員保護,防止操作時設備損壞。更換加熱元件或校準溫度傳感器等維護任務可以快速輕松地執行,從而最大限度地減少停機時間,並最大限度地滿足生產需要。SVG/THERMCO/AVIZA SVG VTR 7000擴散爐兼容半導體制造常用的各種晶圓尺寸和材料,使其成為各種工藝應用的通用工具。SVG SVG VTR 7000無論執行標準的摻雜劑擴散過程、退火處理或其他熱處理步驟,都提供了滿足現代半導體制造設施的嚴格要求所需的靈活性和性能。總體而言,SVG/THERMCO/AVIZA AVIZA VTR 7000擴散爐是一種最先進的工具,結合了先進的技術、精確的控制能力和可靠的性能來支持高質量的半導體器件的生產。AVIZA SVG VTR 7000具有強大的設計、先進的功能和多用途的操作,是尋求實現最佳工藝性能、設備質量和整體生產效率的半導體制造商的寶貴資產。
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