二手 SVG / THERMCO / AVIZA TMX 2604 #293655631 待售

SVG/THERMCO/AVIZA TMX 2604是一種用途廣泛、功能強大的擴散爐及附件,旨在提供全方位的擴散粘合和晶圓制造工藝。它能夠執行重載過程以及超高速熱退火過程。SVG TMX 2604可以容納最大300毫米的基材尺寸，使其適合多種應用。AVIZA TMX 2604具有集成的過程控制設備,具有高級編程功能。用戶能夠輕松創建與熱過程相匹配的過程配方,從而實現精確高效的操作。THERMCO TMX 2604配備了壓力、溫度、真空、大氣等多種工藝參數，在過程中都能輕松監控。此外,該爐的設計具有緊湊的占地面積,並包括一些可選功能,如密閉氣體管、閉環冷卻系統和光發射系統。TMX 2604使用帶有石墨絲的擴散加熱單元，達到高達1200 °C的溫度。這使得它適用於450至1200°C範圍內的多種熱過程，如擴散鍵合、晶片鍵合、氧化、退火和燒結。它還配備了集成泵浦對流機，有助於實現均勻的過程。該爐采用自動安全功能，如緊急電子停止開關、可聽緊急警報和緊急關閉功能。它還包括多個智能傳感器和幾個安全聯鎖；排氣工具；以及自動限溫功能,可在預定溫度下自動停止加熱過程。此外,SVG/THERMCO/AVIZA TMX 2604還設計了多種附件,以確保用戶方便。其中包括加熱室推車；冷卻室推車；機械基板傳遞臂；機械轉移臂；一個處理室適配器；滾子或機械臂；以及壓力控制資產。該爐還具有易於維護的部件，如石墨爐和真空室密封件，其部件是為長壽和低維護而設計的。SVG TMX 2604提供了功能強大、用途廣泛的擴散爐，具有廣泛的熔爐配件，可用於各種應用。它提供了強大的過程控制模型、高效的加熱設備以及多種安全功能，以確保高質量和可靠的過程。此外,AVIZA TMX 2604還設計了多種方便的配件和組件,使其成為各種制造工藝的理想選擇。