二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 51 #186012 待售

ID: 186012
Oxidation Vertical Thermal Reactor Type VTR 7107.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 51是一種先進的可編程擴散爐,設計用於具有成本效益的可靠和有效的熱擴散操作。該爐為擴散爐使用者提供了更強的過程控制和可重復性,涉及所有類型的半導體、微電子和相關過程。SVG VTR 51配備了一套獨特的特性,在進行熱擴散過程時提供了極大的靈活性、精度和重復性。爐子由爐房、加工室、散熱器、絕緣熱區、調節進氣口和石英瓦床組成。該工藝室的設計保證了向目標材料的高效傳熱。其熱區由大量傳感器構成,用以調節溫度和防止過熱。調節的進氣口確保安全和一致的加熱,而石英磚確保整個樣品的溫度均勻。AVIZA VTR 51還配備了多種安全功能,以確保安全可靠的運行。它提供防護罩、高溫報警器和過熱防護。這確保了安全操作和有效的保護,風險最小。高級軟件提供舞臺編程和過程監控等高級功能。這樣,用戶就可以輕松地設置和監控過程參數,從而更好地處理擴散過程。VTR 51 has兩個集成的加熱元件,用於快速熱處理,可容納直徑不超過十英寸的所有類型的基板。它還具有快速熱循環功能,溫度變化率高達5°C/分鐘。對工藝室進行氮氣凈化,以保證氧氣和水分含量低。它還有一個通用機架,最多可容納四個樣品進行均勻擴散處理。隨附的VTR 51配件包括熱電偶、燃氣管線、管道、DI水線、網絡攝像頭和監視器。這些附加組件使用戶能夠根據自己的特定需求進一步定制和定制流程。總之,THERMCO VTR 51是一種先進的可編程擴散爐,具有精密的部件和創新的特點,具有良好的控制和可重復性。它配備了先進的軟件、多個熱源、一個氮氣凈化的工藝室以及隨附的配件,以便進一步定制。這些特性使其成為尋求可靠高效擴散爐的人們的理想選擇。
還沒有評論