二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 51 #293593069 待售

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 51擴散爐及配件是一種用於半導體制造應用的精密工具。它是一種高溫爐，其標準加熱系統能夠達到高達1300 °C的溫度。它有一個較長的工作區，允許靈活配置樣品支架和150 mm的最大負載。此外，這種擴散爐具有出色的均勻加熱性能，這要歸功於它的兩級設計。第一階段保證了爐膛的均勻加熱，而第二階段則損害了工藝參數的精確控制。此外，它具有強大可靠的冷墻技術，可以防止運行容器壁，提高產品產量。業界專業人士可以通過直觀的軟件監控這種擴散爐。它提供了GUI控制的加熱、冷卻和溫度穩定循環、實時溫度顯示和溫度映射等多種功能。它還允許時間編程、溫度升高和高精度分析。此軟件監視、記錄和調整各種參數,以達到最大精度。這種擴散爐為半導體制造帶來許多優點。它設計用於晶圓擴散過程，如氧化、氮化和退火。此外，內置的平衡機構防止電弧和基板彎曲。高溫限值可保護系統免受過程超調的影響,從而提高產品可靠性。SVG VTR 51擴散爐及配件是高溫工藝的絕佳工具。具有無與倫比的均勻加熱性能,采用固態技術進行嚴密的溫度控制.利用直觀的軟件和內置的安全機制，這種擴散爐提供了一致可靠和準確的工藝結果。