二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 6000 #26403 待售

SVG / THERMCO / AVIZA VTR 6000
ID: 26403
晶圓大小: 6" 8"
Vertical Furnace, TEOS, 6", can be configured to 8" capability Gas system is configurable as is early 1990s vintage.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000是為升華、沈積、氧化、擴散、退火等多種高溫應用而設計的擴散爐及附件封裝。該套件包括一個多區石英管式烤箱,能夠在高達1750°C的溫度和高達100毫巴的壓力下運行,以及用於控制高溫室內環境的其他附件。SVG VTR 6000擴散爐采用多區、石英管式烤箱室和安全系統。爐膛內部由高氧化鋁和熔融石英管構成,提供均勻的熱性能,而隨附的安全系統則確保了爐膛運行時的安全性和最大能效。這包括一個減壓閥和一個開關,用於在發生故障時切斷電源。該系統還配備了溫度剖面程序,允許用戶編程預置的加熱參數,如溫度、坡道速率和過程的保持時間。這允許用戶執行復雜和可重復的熱過程。除擴散爐外,AVIZA VTR 6000擴散爐及附件包還包括一系列附加配件,如氣體和氣體流量計、氣體壓力調節器、電阻溫度計、繼電器和傳感器、大吸頭、柔性減壓波紋管、快速加熱元件、用於遠程通信的RS-232端口以及強大的獨立S級控制顯示器。隨附的配件可以根據用戶的個人需求量身定制,並提供更高的準確性和效率。VTR 6000擴散爐及配件封裝的設計為工業用戶提供了一系列的特點,使他們能夠進行各種升華、沈積、氧化、擴散和退火過程。其特點和配件的結合提供了工藝參數的優化和可重復的結果,而其安全特點則保證了用戶的安全和最大的能效。
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