二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 6000 #26404 待售

SVG / THERMCO / AVIZA VTR 6000
ID: 26404
晶圓大小: 6" 8"
Vertical Furnaces, 6", can be configured to 8" capability POCL3, Atmosphere, O2, N2, Phosphorous Oxychloride as-is early 1990s vintage.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000是一款中端擴散爐及附件套件,用於精密溫度控制和半導體加工應用。這種擴散爐的最高溫度額定值高達1500 °C,使其適用於包括多晶矽、氮化矽、氮化鋁在內的多種材料。SVG VTR 6000配備了精確的計算機控制和安全功能,允許精確的溫度和過程管理。此外,該套件還包括渦輪泵和冷熱氣流插座,可用於其他用戶定制。AVIZA VTR 6000擴散爐采用高等級陶瓷纖維絕緣材料和特殊合金制成,保證了在高性能應用中對極端溫度和壽命的抵抗力。其內室尺寸包括9.5英寸直徑和12英寸高,設計以適應更大的容量。單區設計以垂直對流熱為特色,具有獨立調節和可調節的高溫風扇,在密閉空間內引導熱量。高溫加熱元件位於高溫室外,便於更快冷卻和溫度穩定。該軟件包還包括一個直觀的基於計算機的控制器,允許用戶配置和微調可編程溫度配置文件。它用作允許通信的接口,提供準確的溫度和過程數據,可升級的配方,以及實時的設定點調整。PID(比例、積分和差分)溫度輪廓控制系統可確保相對於給定設定點更高的精度和可重復性。VTR 6000具有內置的安全功能,可保護人員,如過熱保護和冷卻風扇。它包括多層次的控制和監控,以確保爐溫讀數保持在設定的極限內,加壓渦輪泵配有空氣濾清器以保證清潔運行。THERMCO VTR 6000的熱效率設計允許更快的加熱和冷卻。這種最小化的熱漂移提供了更高的精度和改進的過程穩定性。另外的配件,如送線器和陶瓷浴池,是單獨提供。這種擴散爐和附件是一種可靠和經濟價格的解決方案,其廣泛的加工應用,包括擴散,氧化,退火。SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000可用於廣泛的行業,包括實驗室、半導體和光電制造。
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